压力传感器是微系统世界里第一个出现的商用MEMS器件,应用领域广泛。鉴于传感器从业人员的需求,麦姆斯咨询特邀请拥有丰富实践经验的科研学者及企业家,为大家传授压力传感器知识及技术经验。
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为提升MEMS产业界相关人员的专业技术能力,并增强中国传感器创新能力,本次课程主要讲授MEMS成熟器件和前沿器件的设计、制造、封测和应用知识,同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解。
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该课程主要讲授MEMS原理、MEMS关键技术(设计、仿真、制造、封装、测试、可靠性、失效分析等)、典型MEMS器件及应用(射频MEMS、红外传感器、惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、气体传感器等)、信号调理技术等。
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