来自全国各地MEMS和传感器领域的企业、研究所和高校的学员们,怀着“强芯利器”的梦想,顶着炎炎烈日参加为期三天的培训课程,上课期间对知识的热忱和渴求感动着我们每一位讲师和麦姆斯咨询的工作人员。

盛夏苦炎热,好课纳微凉!继本年度第一场《MEMS制造工艺培训课程》在3月30日开班深受好评后,应广大学员强烈要求,由麦姆斯咨询主办,无锡微纳产业发展有限公司与华强电子网协办,华强智造和新微创源孵化器支持的《MEMS制造工艺培训课程》加推了第二场,于2018年7月12日-7月15日在无锡市传感网国际创新园F11座创星咖啡完美收官。


2018年第二场MEMS制造工艺培训学员合影留恋

2018年第二场MEMS制造工艺培训学员合影留恋


来自全国各地MEMS和传感器领域的企业、研究所和高校的学员们,怀着“强芯利器”的梦想,顶着炎炎烈日参加为期三天的培训课程,上课期间对知识的热忱和渴求感动着我们每一位讲师和麦姆斯咨询的工作人员。本次课程的宗旨与第一场课程一样,既期望学员可以在课堂中聆听、吸纳知识,也希望通过产线参观帮助大家理解,将书本知识即时变现。


讲师阵容强大,详解技术难点

7月12日下午,麦姆斯咨询特意邀请了Mentor Graphics的IC/物理验证技术专家赖敏诚为大家讲解EDA设计工具Tanner软件及应用。这门选修课程从物联网周边智能器件设计中CMOS IC与MEMS的融合入手,详细讲解了利用Tanner L-Edit MEMS独特的版图编辑和验证功能,并介绍了器件级和系统级MEMS设计。最后赖敏诚老师分享了与MEMS代工厂合作的成功案例。虽然是选修课,但学员的参与率非常高,都表达了试用Tanner软件的愿望。麦姆斯咨询作为Mentor Graphics的战略伙伴,也将继续为学员提供使用Tanner软件的专业建议和方案。


Mentor Graphics的IC/物理验证技术专家赖敏诚介绍MEMS设计工具

Mentor Graphics的IC/物理验证技术专家赖敏诚介绍MEMS设计工具


7月13日是正式课程的第一天,由苏州诺联芯电子的MEMS技术经理俞骁博士和苏州MEMS中试平台的技术总监马清杰老师为大家讲解硅基MEMS制造相关的基础和特殊制造工艺。深耕MEMS一线多年,实践出真知,俞博士对不同设备厂商的机台工艺能力、更新换代甚至价格都了如指掌,对不同材料的使用也颇有心得,对学员随堂提出的问题都能应答自如。马老师不仅拥有多年集成电路(IC)器件开发和整合经验,还成功领导过多项MEMS器件开发项目,凭借其多年管理MEMS制造产线的经验,对MEMS产业的认知和理解可谓“手到擒来”,结合典型器件向学员详解了多种制造工艺技术,深受学员们好评!


诺联芯电子MEMS技术经理俞骁和苏州MEMS中试平台技术总监马清杰详解MEMS制造工艺

诺联芯电子MEMS技术经理俞骁和苏州MEMS中试平台技术总监马清杰详解MEMS制造工艺


学员深入产线,实况感受,现场学习

7月14日上午由中科院声学研究所副研究员汤亮老师和无锡中微掩模电子有限公司副总尤春老师为大家带来了特殊薄膜工艺技术和掩模板制造工艺课程。汤亮老师在多个射频MEMS及声学MEMS项目中积累了压电薄膜生长工艺的丰富经验,从压电效应原理、压电MEMS器件、压电薄膜制备工艺、压电MEMS器件应用案例四个方面入手进行了详细讲解。尤春老师为大家详细呈现了掩模板的制造过程,并带领大家到无锡中微掩模的产线实地参观,对掩膜版的制造流程、设备、产线防静电控制和颗粒控制、交期等各个方面进行了现场讲解,学员们都表示收获不小。


中科院声学研究所副研究员汤亮授课和无锡中微掩模的产线实地参观

中科院声学研究所副研究员汤亮授课和无锡中微掩模的产线实地参观


学术 + 实战技术的精心设计,从深层次解决问题

7月14日下午,华芯半导体的VCSEL产品经理王青老师和研发中心主任尧舜老师为各位学员生动细致地讲解了目前3D传感技术中最热门的半导体激光器VCSEL。两位老师凭借常年在VCSEL生产第一线的技术历练,不仅理论知识深厚,对实际生产工艺的理解也非常深入,通过从理论到实践的系统讲述,让学员理解VCSEL器件结构的设计缘由和MOCVD对VCSEL的重要性。通过学习,学员获得了对VCSEL的深入认知,两位老师也赢得了大批粉丝。


华芯半导体的VCSEL产品经理王青和研发中心主任尧舜深入剖析VCSEL工艺

华芯半导体的VCSEL产品经理王青和研发中心主任尧舜深入剖析VCSEL工艺


7月15日,北京大学陈兢教授为学员带来了对非硅基MEMS制造工艺和微流控器件的讲解。多年北大讲台的授课经验,让陈教授讲起课来独具魅力,生动风趣,与学员互动性强;而产业界的实战经历,让陈教授的授课绝不止于理论,而是学术与产业的有机结合。许多学员都听得意犹未尽,大呼时间过得太快!


北京大学陈兢教授的讲课精彩飞扬

北京大学陈兢教授的讲课精彩飞扬


至此,作为学员呼声最高的MEMS制造工艺培训课程,两场都以满员收官!在这里,对未能报上名的学员说一声“对不起”。麦姆斯咨询将认真总结学员的反馈,继续丰富课程内容,优化课程设计,秉承精益求精、不断进取的精神,在2019年为大家献上更加精彩的MEMS制造工艺培训课程!也期待您关注麦姆斯咨询在2018年下半年即将推出的新课程,近期将开放报名!



近期课程

第75期“见微知著”培训课程:压电材料制备及压电MEMS器件

近些年,压电MEMS领域高度活跃,从材料体系到器件类型,越来越多元化,推动万物互联的人工智能应用。本课程邀请压电MEMS领域专家学者,为大家梳理压电材料及器件发展之路,讲授关键技术和研发经验。


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