微电极是一种特征尺寸在微米或更小尺度上的电导体端口，通常被用于检测（传感）、刺激或调控微观环境中的电信号。因其“空间分辨率高、电流密度高、响应速度快”等特点而获得广泛应用，涵盖神经科学、生物传感、器官模拟等领域。
无锡新吴区
该课程主要讲授MEMS原理、MEMS关键技术（设计、仿真、制造、封装、测试、可靠性、失效分析等）、典型MEMS器件及应用（射频MEMS、红外传感器、惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、气体传感器等）、信号调理技术等。
本课程主要讲课传统及先进MEMS封装技术原理及应用、MEMS测试技术、典型MEMS封装和测试技术应用案例详细介绍（如加速度计、磁传感器、光学MEMS、压力传感器和MEMS麦克风）、传感产品检验计量等。
本课主要讲课传统及先进MEMS封装技术原理及应用、MEMS测试技术、典型MEMS封装和测试技术应用案例详细介绍（如声表面波（SAW）滤波器、气体传感器、光学MEMS、惯性传感器）、传感产品检验计量等。
为提升MEMS产业界相关人员的专业技术能力，并增强中国传感器创新能力，本次课程主要讲授MEMS成熟器件和前沿器件的设计、制造、封测和应用知识，同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解。
MEMS制造工艺在微电子技术（半导体制造工艺）基础上发展起来，并衍生出许多MEMS特有的制造工艺。本课程深入讲解硅基MEMS（基础和特殊）制造工艺、非硅基MEMS制造工艺、特殊薄膜材料制造工艺和VCSEL的单步重要工艺。
MEMS的三维机械结构、产品设计和制造技术的多样性，决定了MEMS封装的复杂性。本课程针对MEMS器件级封装、MEMS晶圆级封装、MEMS系统级封装，结合目前MEMS封装市场增长率最高的器件，分析MEMS封装测试技术。
相比普通IC器件，MEMS更注重结构特性和材料的选择，因此衍生出许多特有的制造工艺。本课程深入讲解硅基MEMS制造工艺、非硅基MEMS制造工艺、特殊薄膜材料制造工艺、掩模版制造工艺和“VCSEL”的单步重要工艺。
该系列课程以MEMS热门器件作为切入口，让学员在深入了解MEMS产业的基础上讲授器件（加速度计、陀螺仪、MEMS麦克风、压力传感器等）设计、制造、封测和应用，同时对MEMS产业重要环节（制造和封测）进行全面讲授。
MEMS与光学技术相互交叉融合并诞生光学MEMS，为光学技术带来了新的发展动力和机遇。本课程针对消费电子领域的3D视觉关键技术、光学指纹传感技术，汽车电子领域的激光雷达关键技术进行全面详尽的讲解，并剖析核心元器件技术。
自从MEMS麦克风首次亮相以来，该市场一直保持高增长态势。本课程将深入剖析MEMS麦克风的版图设计、声学物理仿真分析，以及电容式MEMS麦克风和压电式MEMS麦克风（水听器）的工作原理、设计、封装、测试以及应用案例。
全球半导体行业进入周期性衰退阶段，MEMS行业却逆势增长。本课程剖析MEMS制造工艺、MEMS器件制造工艺流程（MEMS麦克风、压力传感器、红外探测器、MEMS微镜等）、MEMS封装、MEMS测试、关键工艺设备和材料等。
自动驾驶技术正在将汽车产业推进一个全新的时代。本课程围绕毫米波雷达、激光雷达和车载摄像头三大核心环境感知传感器展开，并深入讲解其核心元器件（VCSEL、APD、SPAD、MEMS微镜、车载镜头）等技术及车规级要求。
生物MEMS和传感器在病患监测、体外诊断测试、医学成像、病患照护、药物输送、药物研发等医疗领域有广阔的应用前景。本课程将全面呈现生物MEMS和传感器在传统和新兴领域的设计、制造和应用等理论知识和案例分享。
《MEMS高级培训课程》系列课程已连续举办三年。该系列课程以经典MEMS器件为出发点，带领学员们研习MEMS器件的设计、制造、封测和应用等重要环节，同时辅以MEMS和传感器产业信息，帮助MEMS从业人员理清产业发展脉络。
iPhone X的发布将3D成像和传感带入了消费类应用“甜蜜期”。本课程深入剖析3D成像与传感核心元器件技术、应用和市场等，包括VCSEL、MEMS微镜、液体透镜、DOE、SPAD、SiPM、ToF图像传感器等核心器件。
红外探测器市场爆发近在眼前！本课程深入剖析非制冷型热探测器（氧化钒/非晶硅微测辐射热计、热电堆探测器、热释电和微悬臂梁探测器）、制冷型光子探测器（碲镉汞探测器、Ⅱ类超晶格探测器）、太赫兹探测器和辐射源等技术。
压电和MEMS技术的融合发展正在为全球MEMS产业带来一场革命。本课程深入讲解射频滤波器、SAW传感器、MEMS谐振器与振荡器、压电MEMS超声波换能器和指纹识别传感器、压电MEMS麦克风等技术，以及压电薄膜制备工艺。
很多老牌整车厂和互联网巨头都展开了车载激光雷达的“军备竞赛”。本课程深入剖析不同激光雷达技术路线（机械式、MEMS、OPA、Flash、FMCW），以及激光雷达核心元器件（激光器、光束操纵元件、光电探测器）等技术。
MEMS运动传感器在消费电子、工业控制和监测、汽车、航空航天和国防军工等领域无处不在。本课程深入剖析运动传感器产业要求，以及MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、MEMS高度计、MEMS惯性传感器系统、ASIC等技术细节。
新材料和新工艺的开发，让传统的MEMS器件获得了更小尺寸和更优性能的机会。本课程深入剖析MEMS制造关键设备和材料、硅基MEMS制造工艺、非硅基MEMS制造工艺、晶圆级封装、特殊薄膜制造工艺（压电薄膜和磁性薄膜）等。
MEMS的多样性决定了MEMS制造工艺的多样性。本课程深入剖析MEMS制造关键设备和材料、硅基/非硅基MEMS制造工艺、纳米压印、晶圆级封装，以及热电堆红外传感器、微流控、仿生微纳结构、微针、电极和人工视网膜等制造工艺。
5G通信、个人语音助手、可穿戴设备、指纹识别和医疗设备都是压电器件的潜在热门应用。本课程深入剖析射频滤波器、基于PMUT的指纹传感器和ToF传感器、SAW微流控、压电MEMS微镜和变形镜、微振动台等典型传感器和执行器。
MEMS技术日臻成熟，新型MEMS产品层出不穷。本课程从惯性MEMS、光学MEMS（气体传感器）、红外探测器（微测辐射热计）、生物MEMS（微流控）等技术，以及MEMS制造工艺及封装、MEMS可靠性分析进行深入讲解。
VCSEL是红外光源中最为“年轻”却具有极大发展潜力的器件。本课程深入剖析VCSEL的基础理论、产业链重要环节（设计、仿真、制造、封测）、发光模组重要元器件、重要应用（智能手机3D摄像头、车载激光雷达、TWS耳机）等。
2020年当之无愧“红”透全球的产品就属各类抗疫测温仪器，其最核心的器件便是红外探测器。本次课程内容涵盖热探测器和光子探测器的主流技术，红外探测器领域专家齐聚无锡，为大家带来一场红外知识盛宴。
中国医疗服务正经历从传统“医疗服务”向“健康服务”的转型，穿戴式和植入式电子设备越来越多地走进我们的日常生活。本课程将为大家讲解生物传感器如何从“小众”走向“大众”，变成“守护健康”的硬核科技。
微光学元件由微米级和纳米级结构组成，成为智能手机、激光雷达、VR/AR等重要元件。本课程将深入讲解微光学理论基础、制造工艺、典型微光学元件（DOE、MEMS微镜、导波微光学元件、OPA、超表面）技术及典型应用。
3D成像和传感结合人工智能（AI），正在改变着各行各业的运行模式和人类的生活方式。本课程教授ToF传感器技术及应用，对比iToF和dToF，剖析ToF传感器的光电探测器（APD、SPAD、SiPM）及模拟前端芯片。
4G改变生活，5G改变社会。5G对射频前端形态产生重要影响，并推动着射频前端技术不断革新。本课程深入剖析射频前端核心技术，包括SAW和BAW滤波器、天线调谐器和MIMO、PA和LNA、IPD、MEMS谐振器和振荡器等。
压电（Piezoelectricity），已经成为近几年并将继续成为未来多年MEMS产业发展的关键词！麦姆斯咨询从压电材料特性及性能表征、当前热门压电器件、未来的高潜力压电器件等多个角度，为广大学员带来丰富的培训课程。
近年来，激光雷达及其核心元器件技术迅速发展，更多优秀讲师涌现出来。基于麦姆斯咨询对激光雷达技术更为深入的理解，再次策划本场培训课程，将从车规级角度分析激光雷达技术的发展现状和趋势，以及产业界的技术准备水平。
中国红外热成像产业链迅速崛起，核心探测器成本迅速下探，带来了新的发展机遇。为促进红外产业链上下游人员“共同成长”，以及推动红外应用“百花齐放”，麦姆斯咨询邀请知名企业高管、技术人员和专家学者，精心打造此次课程。
MEMS产品及制造工艺的多样性，要求从业人员拥有多年基于实践的专业知识和诀窍积累。为满足MEMS和传感器从业人员对制造工艺知识的渴求，特开设本期课程，希望为正在从事和希望从事MEMS产业的人员提供深入学习制造工艺的机会。
射频滤波器核心器件专利、技术和市场被国外厂商把持，成为中国智能手机缺“芯”之痛。而当下国产替代的机遇，造就了中国射频滤波器企业的黄金时代，已经并正在吸引众多海归专家与本土人才投身其中，一股创业热潮正在神州大地掀起。
微光学元件是3D成像与传感、3D显示等技术发展和商业化的关键要素，未来前景不可限量！在此背景下，麦姆斯咨询精心策划了本期课程。
气体传感器是保障人类健康与安全的重要感知技术，未来在汽车与消费电子的“双轮”驱动之下，将保持快速发展的势头。为此，麦姆斯咨询精心策划了气体传感与检测技术课程。
从数据通信到智能手机，从扫地机器人到自动驾驶汽车，VCSEL应用不断“开疆拓土”，未来发展前景可期。在本次培训中，麦姆斯咨询邀请在VCSEL产业中拥有丰富实践经验的企业家及科研学者，为大家传授VCSEL知识及技术经验。
麦姆斯咨询根据近期MEMS封装进展及市场热点，邀请在MEMS产业中拥有丰富实践经验的科研学者及企业家，为大家传授MEMS封装知识及技术经验。
微型光谱仪及光谱成像的应用潜力巨大，随着核心技术日益成熟、制造成本不断下降，有望在智能手机、平板电脑、可穿戴设备、智能家电、无人机、机器人等众多应用中“发扬光大”，为广阔的消费电子领域开辟新的“视界”。
压力传感器是微系统世界里第一个出现的商用MEMS器件，应用领域广泛。鉴于传感器从业人员的需求，麦姆斯咨询特邀请拥有丰富实践经验的科研学者及企业家，为大家传授压力传感器知识及技术经验。
学习借鉴并超越人类感觉器官是业界孜孜不倦追求的方向，各种新兴视觉传感器技术层出不穷，涉及更宽的电磁波频率（光谱）范围、更高的空间和时间分辨率、更高的灵敏度和动态范围，以及更多的电磁波信息（例如偏振）。
以压电MEMS为代表的新技术进入黄金发展期，燃起业界对未来的希望——基于压电MEMS的新器件层出不穷，推动MEMS和传感器产业向前发展，赋能万物互联的智能化应用。
微纳光学是研究具有微纳米级特征尺寸的光学元件设计、制造及应用（光的发射、传输、变换和接收）的学科。本次培训以典型的微纳光学元件为核心，传授从设计到制造的关键技术，探索从传感到显示的热门应用。
生物MEMS与传感器的发展将提升我们人类对医学的认知水平，为研究疾病状态、开发新款药物、改进手术程序、监测健康状况以及建立人机接口创造新的机遇。
声学MEMS与传感器是指采用以MEMS为代表的微纳制造技术实现声学应用的传感器、执行器及微系统，例如MEMS麦克风、MEMS扬声器、压电式微机械超声换能器（PMUT）、电容式微机械超声换能器（CMUT）等。
惯性传感器是一类基于惯性及相关测量原理将物体运动量转换成电信号的装置，包括加速度计、陀螺仪及其组合式传感器。MEMS技术引领惯性传感器进入“小尺寸、低成本、高集成度、多功能、智能化”的新时代。
微纳制造技术是科技和经济国际竞争的战略制高点。为了把握MEMS技术发展趋势及传感器核心制造环节，满足广大从业人员对知识的渴求，麦姆斯咨询特开设本次MEMS制造工艺培训课程。
在微纳制造技术方面，MEMS使得复杂的微型色散器件、滤光器件和傅里叶变换系统的制造成为可能；在计算能力方面，压缩感知和深度学习等数学工具的发展为微型光谱仪的改进注入了新活力。
激光被称为“最快的刀”、“最准的尺”、“最亮的光”，与原子能、计算机、半导体并称为20世纪新四大发明。麦姆斯咨询邀请在半导体激光器产业中拥有丰富实践经验的企业高管及科研学者，为大家传授半导体激光器及传感应用知识和经验。
在本次培训课程中，麦姆斯咨询邀请单光子探测领域的科研学者及企业高管，为大家梳理单光子探测器发展之路，重点讲授单光子探测技术相关知识和经验，并结合应用领域分析技术优劣势。
血液葡萄糖浓度是临床上诊断糖尿病的有效指标，同时也可作为糖尿病日常控制、代谢综合症进展预测的依据。过去十多年来，血糖监测行业见证了重大变革——从电化学测试条向连续血糖监测贴片转变。
近些年，压电MEMS与传感器领域保持高度活跃，在材料体系方面，产业界建立了多种压电薄膜材料的制备能力；在器件类型方面，射频声学滤波器、压电超声波指纹识别传感器已经在智能手机上展现科技魅力。
超构光学是一种利用超构材料在亚波长空间尺度上实现光场多维度调控的新兴技术。超构光学元件（光学超构表面器件）加速从实验室走向产业界，成为光学前沿技术的投资热点，正在为光学产业带来一场变革。
在本次培训课程中，麦姆斯咨询邀请在MUT方面颇有建树的科研学者及企业高管，为大家讲述超声领域革新之路，传授超声换能器知识和经验，并结合应用需求展望未来趋势。
在本次培训课程中，麦姆斯咨询邀请在气体传感器及电子鼻方面颇有建树的科研学者及企业高管，为大家讲述气体传感器革新之路，传授新兴的电子鼻知识，并结合应用需求展望未来趋势。
本课程深入讲解红外探测器及其读出电路（ROIC）发展历程和产业现状，内容覆盖从短波红外至长波红外，并结合量子点、人工微纳结构（例如超构表面）等技术论述创新之道。
MEMS技术在原理、理论、设计和制造等方面的进步，促进了压力传感器的快速发展和多样化，例如更高的测量精度、微型化的尺寸、更宽泛的温度适应性以及在恶劣环境中更好的鲁棒性。
硅光子传感应用呈现出“百花齐放”的景象，包括激光雷达（LiDAR）、惯性传感（如加速度计、陀螺仪）、气体传感、生物传感（如血糖监测）、免疫分析、光学相干断层扫描（OCT）、光谱分析等。
单光子探测是一项可实现对单个光子量级的光能量捕获和转换的技术，在量子信息（通信、计算和传感）、激光雷达、荧光寿命成像、拉曼光谱测量、正电子发射断层扫描、暗物质探测领域都起到重要的推动作用。
本次课程内容涵盖惯性传感器及其接口电路、谐振式MEMS器件、MEMS微镜、压电式MEMS器件（PMUT、麦克风、扬声器）、生物MEMS传感器（神经探针、生物反应器状态监测传感器），以及MEMS器件设计的进化算法。
声学MEMS与传感器是指采用以MEMS为代表的微纳制造技术实现片上声波操控及声学应用的传感器、执行器及微系统，例如MEMS水听器、MEMS麦克风、MEMS扬声器、PMUT、CMUT等。
过去十多年来，血糖监测行业见证了重大变化：从指血电化学测试条向连续血糖监测贴片转变。连续血糖监测还使自动胰岛素给药系统的开发成为可能，推动胰岛素泵市场增长，为胰岛素给药行业带来变化。
以MEMS为代表的微纳制造技术可以构筑三维微机械结构，进而实现集成传感、执行等功能的微系统，代表以科技创新为引领的新质生产力。相比集成电路制造工艺，MEMS制造工艺不单纯追求线宽而注重特色化。
在光学超构表面的“黄金时代”来临之际，本次培训课程将促进科学家和工程师交流超构表面的未来发展之路，共同推动超构表面的研究和开发，从而实现卓越的科研成果和广泛的产业应用。
利用光谱仪进行光谱分析是人类借助光认知世界的重要方式之一，应用领域包括食品和药品安全、生化分析、机器视觉、环境监测、疾病诊断、军事侦查，以及在智能手机中正在或即将兴起的摄像优化、皮肤护理、健康检查等。
量子传感是量子技术领域的核心发展方向之一，是量子信息感知的物理实现基础，它与量子通信、量子计算共同构成了当前量子技术的三大支柱。基于量子传感技术形成的各种类型传感器已经在诸多领域发挥了重要作用。
随着基于MEMS和NEMS技术的谐振器在微型化、集成化、性能指标、成本效益方面不断优化提升，其应用领域越来越广泛，包括时钟振荡器、射频滤波器、惯性传感器、压力传感器、生化传感器、气体传感器、温度传感器等。
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