麦姆斯咨询 | 2024-03-29至2024-03-31 | 无锡新吴区

MEMS技术在原理、理论、设计和制造等方面的进步,促进了压力传感器的快速发展和多样化,例如更高的测量精度、微型化的尺寸、更宽泛的温度适应性以及在恶劣环境中更好的鲁棒性。


主办单位:麦姆斯咨询国家物联网感知装备产业计量测试中心

协办单位:上海传感信息科技有限公司


一、课程简介

压力传感器是一种把压力信号转换为电信号的换能器。根据压力类型,压力传感器可分为表压、差压和绝压三大类;根据核心材料,压力传感器可分为硅、陶瓷、金属、石墨烯、高分子聚合物等类型;根据工作原理,压力传感器可分为压阻式、电容式、压电式、离电式、谐振式、摩擦电式等类型。目前,市场上主流的压力传感器主要采用压阻式和电容式两类工作原理。压力传感器是微系统世界里第一个出现的商用MEMS器件,被广泛地应用于消费电子、汽车电子、工业控制、生物医疗、航天航空和国防领域。


压力传感器典型应用

压力传感器典型应用


主要压力传感器技术及测压应用范围

主要压力传感器技术及测压应用范围(来源:Yole)


基于MEMS技术的硅基压力传感器是低压应用的首选,具有低成本、小尺寸、易量产等特点。而在中高压应用,硅基MEMS则面临着陶瓷电容和薄膜金属两者的竞争。以器件级为统计口径,2022年全球MEMS压力传感器市场规模约151亿元人民币,预计2027年将增长到190亿元人民币。其中,汽车电子和消费电子两类压力传感器应用的市场规模排名前两位:汽车电子应用主要包括胎压监测、安全气囊、发动机管理、座椅调节、空调管路监测;消费电子市场更加活跃和多样,例如智能手机、智能手表/手环、无人机搭载气压传感器用于高度定位,智能家居集成气压传感器助力天气预报,电子烟利用差压传感器实现吸力检测和流量测量,TWS耳机通过压力传感器进行人机交互。


MEMS压力传感器产业链

MEMS压力传感器产业链


MEMS压力传感器具有诸多优势,包括易于批量生产、集成化与小型化、成本效益以及智能化的潜力等。因此,MEMS压力传感器的市场份额越来越高。过去二十年来,MEMS技术在原理、理论、设计和制造(例如深硅蚀刻、薄膜制造和低温键合)等方面的进步,促进了压力传感器的快速发展和多样化,例如更高的测量精度、微型化的尺寸、更宽泛的温度适应性以及在恶劣环境中更好的鲁棒性。此外,第三代半导体材料、石墨烯、纳米线和碳纳米管等新兴材料在压力传感器中的应用进一步提高了其性能。


对于机器而言,压力传感器是其触觉感知系统不可或缺的组件,柔性化可以进一步增加其安全性及承受变形的能力。随着材料科学、柔性电子和微纳技术的发展,各种柔性压力传感器应运而生,它们通常由两层柔性电极和中间的功能软材料构成,具有可弯曲、可变形的特点。在柔性压力传感器的主要性能指标中,除了普遍关注的柔性、灵敏度、响应速度、检测限、性能稳定性,大家近些年也逐渐重视压力响应范围、可拉伸性能、压力分辨率和空间分辨率等指标。新材料的使用为压力传感器的未来描绘了一幅更广阔的蓝图,有望激发电子皮肤、智能触觉、健康监测、人机界面、人工智能等领域中的巨大应用潜力。柔性触觉传感器典型厂商包括钛深科技、Tekscan、Pressure Profile Systems、SynTouch、Tacterion等。


柔性压力传感器技术及应用

柔性压力传感器技术及应用(DOI: 10.1002/nano.202100003)


鉴于压力传感器从业人员的广泛需求,麦姆斯咨询邀请拥有丰富实践经验的科研学者及企业专家,为大家传授压力传感器及触觉感知技术和经验。本次课程内容包括:(1)高性能MEMS压力传感器设计、制造和封装;(2)超小型压阻式MEMS压力传感器;(3)MEMS SOI压力传感器;(4)高性能硅谐振式压力传感器及应用;(5)碳化硅(SiC)高温压力传感器设计与制造;(6)离电压力传感及触觉感知;(7)MEMS压力传感器设计与制造实例解析;(8)柔性可穿戴压力传感器及其人体生理指标监测应用;(9)压电式薄膜压力传感器及其应用;(10)触觉电子皮肤开发及应用;(11)压力传感器实验室和环境传感器实验室参观学习。


二、培训对象

本课程主要面向压力传感器产业链上下游企业的技术人员和管理人员,以及高校师生,同时也欢迎其他希望了解压力传感器及触觉感知的非技术背景人员参加,如销售和市场人员、投融资机构人员、政府管理人员等。


三、培训时间

2024年3月29日~3月31日

授课结束后,为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。


四、培训地点

无锡市(具体地点以培训前一周的邮件通知为准)


五、课程内容

课程一:高性能MEMS压力传感器设计、制造和封装

老师:西安交通大学 助理教授 韩香广

压力是流体内部测量的基本参数之一,其对流体控制和设备状态监测至关重要。因此,MEMS压力传感器在汽车、医疗和航空航天等领域有着广泛的应用。通过精确的压力测量,可以准确监测设备状况,预测潜在的故障。MEMS压力传感器发展趋势包括:更高的灵敏度、更高的精度、多参数集成、更小的芯片尺寸、更小的封装尺寸以及在恶劣环境中具有更好的鲁棒性等。本课程讲解多种应用中的高性能MEMS压力传感器,包括微差压压力传感器(MDPS)、谐振式压力传感器(RPS)、集成式压力传感器、微型化压力传感器和无引线封装压力传感器,详细介绍它们的工作原理、研究进展、技术难点和发展前景。

课程提纲:
1. 高性能MEMS压力传感器背景知识;
2. 微差压压力传感器;
3. 谐振式压力传感器;
4. 集成式压力传感器;
5. 微型化压力传感器;
6. 无引线封装压力传感器;
7. 高性能MEMS压力传感器总结与展望。


课程二:超小型压阻式MEMS压力传感器

老师:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 研究员 李昕欣

低成本、高性能的小型化压力传感器一直是消费电子及物联网市场不断追求的目标。研发高良率的单片集成工艺来制造更小且更高性能的MEMS芯片是其中一种解决方案。中科院上海微系统所李昕欣老师课题组利用独创的无疤痕微创手术(MIS)制造出超小型压阻式MEMS压力传感器,并且MIS工艺与标准IC代工厂的工艺兼容,加工精度高、成品率高、成本低。MIS工艺与博世(Bosch)的APS工艺、意法半导体(ST)的VENSENS工艺同为相互竞争的第三代单芯片MEMS通用工艺。本课程全面介绍压阻式MEMS压力传感器原理及核心技术,重点剖析基于MIS工艺的超小型MEMS压力传感器。

课程提纲:
1. 压阻式压力传感器工作原理及特点;
2. 压阻式MEMS压力传感器设计与仿真;
3. 压阻式MEMS压力传感器制造:微创手术(MIS)工艺;
4. 基于微创手术工艺的超小型MEMS压力传感器;
5. 压阻式MEMS压力传感器技术展望;
6. 压阻式MEMS压力传感器应用及市场。


课程三:MEMS SOI压力传感器

老师:东南大学 教授 黄晓东

石油化工、地质勘探、能源电力、航天航空等应用的压力传感器通常要耐受高温、高压等恶劣环境。普通的硅基压力传感器(例如扩散硅压力传感器)采用PN结作为电学隔离手段,在工作温度超过120℃时由于反向漏电流的增大而导致失效,因此无法正常测量压力。采用SOI衬底材料对压力传感器高温性能的改进可以起到显著的作用,SOI压力传感器利用绝缘埋氧层隔离取代了PN结隔离,使得器件忍耐高温的能力大大增强。此外,与多晶硅压力传感器相比,由于SOI的顶层是单晶硅材料,力学性能甚优于多晶硅压力传感器,灵敏度得到极大的提高。本课程全面介绍MEMS SOI压力传感器,从工作原理到设计与制造、封装与测试,最后介绍典型应用及技术发展。

课程提纲:
1. MEMS SOI压力传感器工作原理及特点;
2. SOI衬底的典型制备技术;
3. MEMS SOI压力传感器设计与制造;
4. MEMS SOI压力传感器封装与测试;
5. MEMS SOI压力传感器应用与展望。


课程四:高性能硅谐振式压力传感器及应用

老师:中国科学院空天信息创新研究院 研究员 王军波

基于MEMS技术的硅谐振式压力传感器是目前精度最高的硅微压力传感器,其通过检测结构的固有频率间接测量压力。中科院电子所(现为中科院空天院)自1997年开始率先在国内开展谐振式MEMS压力传感器研究,先后研制出“电热激励/压阻检测”、“电磁激励/磁感应检测”、“静电激励/电容检测”三种谐振式压力传感器,突破了传感器结构设计、MEMS加工工艺、晶圆级真空封装、低应力组装、闭环谐振电路、检测仪表等关键技术,并在实验室条件下实现了小批量试生产,应用于航空、气象、计量、光刻机等领域。本课程全面介绍谐振式MEMS压力传感器,从工作原理到设计与制造、封装与测试,最后阐述技术发展趋势。

课程提纲:
1. 谐振式传感器概述:原理、构成、特点等;
2. 传统谐振式传感器:振弦式、振筒式等;
3. 硅基谐振式压力传感器设计、制造、测试;
4. 谐振式压力传感器研究及产业化现状;
5. 谐振式压力传感器技术展望。


课程五:碳化硅(SiC)高温压力传感器设计与制造

老师:西安交通大学 副教授 方续东

碳化硅(SiC)是第三代宽禁带半导体材料的代表,具有一定的压阻效应,以及优良的抗辐射性能、高温稳定性、高热导率、耐腐蚀能力,因此它是制作高温压力传感器的理想材料,适用于高温、高辐射、强腐蚀等极端恶劣的环境。20世纪90年代,Ziermann等人首次使用碳化硅材料研发出一种最高测量温度为300℃的压阻式压力传感器,用于汽油机燃烧室压力检测。如今,碳化硅压力传感器已成为高温应用环境中的主流器件。在高温环境下,由于压力传感器材料自身的特性会引起感应膜片表面热膨胀,因此产生的热应力对感应膜片的设计、压敏电阻的布置有一定的影响。本课程详解碳化硅压力传感器工作原理及核心技术,并介绍典型应用和展望技术趋势。

课程提纲:
1. 碳化硅高温压力传感器研制背景;
2. 碳化硅高温压力传感器现状;
3. 碳化硅压力传感器工作原理及特点;
4. 碳化硅压力传感器设计、制造与测试;
5. 碳化硅压力传感器应用与技术展望。


课程六:离电压力传感及触觉感知

老师:中国科学技术大学苏州高等研究院 长江学者讲席教授 潘挺睿

柔性离电传感(Flexible IonTronic Sensing,FITS)机制被国际主流学术界列为新一代(第四代)柔性力和触觉传感机制,它通过利用电极和离子表面之间的压力来感应电容变化。基于独特FITS机制的离电压力传感器具有极高的灵敏度、分辨率和信噪比,能够实现各类基材的触觉智能升级,可应用于可穿戴设备、健康监测、机器人等领域。以FITS为核心技术的高科技智能传感器企业钛深科技(TacSense),现已发展成为触觉传感领域的领军企业,推出了基于FITS的电池电芯热失控管理、屏幕面板压合检测、可穿戴压感等解决方案。本课程为大家揭秘离电压力传感器的“前世今生”,系统地讲解离电压力传感器技术、实例及应用。

课程提纲:
1. 离电压力传感器工作原理及特点;
2. 离电压力传感器设计与制造;
3. 离电压力传感器实例:离电穿戴传感、离电透明传感、离电纤维传感、离电主动传感;
4. 仿生触觉智能技术进展;
5. 仿生触觉智能技术应用:医疗触觉感知。


课程七:MEMS压力传感器设计与制造实例解析

老师:芯云纳米(苏州)技术有限公司 技术总监 陈涛

MEMS压力传感器具有小型化、成本效益、易于批量生产和实现智能化等优点,因此,其应用领域越来越广,市场份额与日俱增。过去二十年来,MEMS技术在原理、设计和制造(例如体硅蚀刻、薄膜制造和低温键合)等方面的进步,促进了压力传感器的快速发展和多样化。采用新兴材料、创新设计和制造方法的新型压力传感元件,提供了更高的测量精度、微型化的尺寸以及更宽泛的温度适应性。本课程以市场上主流的压阻式和电容式两大类压力传感器为例,深度解析全球领先厂商的MEMS产品设计和制造,让学员们能够学习借鉴,触类旁通。

课程提纲:
1. MEMS压力传感器概述;
2. MEMS压阻式压力传感器设计及实例解析:博世、安费诺和Merit Sensor产品;
3. MEMS压阻式压力传感器制造工艺流程;
4. MEMS电容式压力传感器设计及实例解析:博世和英飞凌产品;
5. MEMS电容式压力传感器制造工艺流程。


课程八:柔性可穿戴压力传感器及其人体生理指标监测应用

老师:吉林大学 教授 张彤

随着人工智能和物联网技术的蓬勃发展,可穿戴电子设备已逐渐融入我们的日常生活。柔性电子技术与日常穿戴物品的结合在医疗、军事、工业、娱乐等多个领域展现出广泛的应用前景。相较于传统电子器件,柔性电子器件独特的柔韧性和延展性使其能够适应更为复杂的工作环境。作为可穿戴设备,柔性电子器件能够紧密贴合在人体皮肤表面,在保证信号采集准确性的同时提升穿戴舒适度。柔性可穿戴传感系统是可穿戴电子设备的重要组成部分,其中,柔性压力传感器作为可穿戴传感系统的核心器件之一,能够实现对人体运动及生命体征信号的监测,在健康监护、疾病诊疗和人机交互等应用中发挥着重要作用。近年来,随着柔性压力传感器在材料与传感机制方面的研究突破,一系列高性能传感器已能够实现对多种人体生命体征信号及运动信号的测量。鉴于柔性可穿戴器件的特殊性质与应用场景,对其成本、制造工艺、稳定性、穿戴舒适性和生物兼容性等方面也分别提出相应的要求。本课程将重点介绍柔性压力传感器的发展概况、结构设计、器件制作,以及其在人体生理指标监测和触觉感知方面的实际应用。

课程提纲:
1. 柔性可穿戴传感器概述;
2. 柔性可穿戴压力传感器的结构与设计;
3. 柔性可穿戴压力传感器制作;
4. 柔性可穿戴压力传感器与人体生理指标监测;
5. 柔性可穿戴传感器技术与应用展望。


课程九:压电式薄膜压力传感器及其应用

老师:无锡怡声微纳医疗科技有限公司 高级工程师 唐瑞涛

随着压电材料、柔性电子和微纳技术的发展,各种柔性压电式薄膜压力传感器应运而生,它们通常由两层柔性电极和中间的功能软材料构成,具有可弯曲、可变形的特点。聚偏二氟乙烯(PVDF)是一种有机压电聚合物,可用于制作压力传感器和超声换能器等。基于PVDF薄膜的柔性压力传感器在智能触觉、健康监测、生物医疗、人机交互等领域具有较大的应用潜力。本课程讲解PVDF基和压电纤维基两大类薄膜压力传感器关键技术(设计、制备和测试)及典型应用,并展望技术发展趋势。

课程提纲:
1. 压电式薄膜压力传感器简介;
2. PVDF基薄膜压力传感器;
3. 压电纤维基薄膜压力传感器;
4. 压电式薄膜压力传感器标定测量方法;
5. 压电式薄膜压力传感器应用及展望。


课程十:触觉电子皮肤开发及应用

老师:华东师范大学 博士后 郁哲

触觉电子皮肤是一类通过模仿生物皮肤感知外界刺激的柔性传感器,目前可感知刺激有机械力、温度、湿度、气体、电磁场等。其中,感知外界机械力刺激的触觉电子皮肤具有广阔的应用前景,例如人机交互、医疗康复、智能假肢、灵巧机械手等,因此它成为可穿戴柔性电子传感器领域的当前研究热点。在器件内部或表面构筑微结构是提升触觉电子皮肤性能的重要方法,而其关键在于如何设计与制造。本课程从触觉电子皮肤原理出发,讲授电子皮肤仿生设计与3D打印制造,并介绍典型应用和展望技术趋势。

课程提纲:
1. 触觉电子皮肤概述;
2. 触觉电子皮肤仿生设计;
3. 触觉电子皮肤3D打印制造;
4. 触觉电子皮肤应用;
5. 触觉电子皮肤总结与展望。


课程十一:压力传感器实验室和环境传感器实验室参观学习

老师:国家物联网感知装备产业计量测试中心 压力传感器实验室项目主管 肖博文

国家物联网感知装备产业计量测试中心以产业需求为导向,以计量测试技术和计量科技创新为主要手段,研究具有物联网产业特点的量值传递技术,开展产业关键领域关键参数的计量测试服务。该中心具有国内一流的软硬件设施和先进的检测仪器,目前在惯性、压力、风速、振动等领域的计量测试服务能力在国内处于领先地位,并可提供各类环境可靠性试验和机械可靠性试验。该中心的压力传感器实验室具有多套高精度压力自动测试系统,可开展压力传感器重复性、迟滞、线性、零点漂移、温度影响等项目的测试工作。本课程带领学员们了解压力传感器测试方法及设备,结合现场参观实验室加深体会。

课程提纲:
1. 国家物联网感知装备产业计量测试中心简介;
2. 计量与产业计量;
3. 压力传感器涉及标准、规程和规范;
4. 压力传感器测试服务能力(静态、动态、可靠性);
5. 压力传感器测试服务的典型案例;
6. 参观压力传感器实验室和环境传感器实验室。


六、师资介绍

韩香广,博士,西安交通大学助理教授,博士毕业于西安交通大学,之后留校任教,师从长江学者赵立波教授。他长期从事高性能压力传感器技术研究,主持开发了高温高动态压力传感器、高精度谐振式压力传感器、高灵敏度微压传感器、集成式薄膜力学传感器等特种压力传感器,获得航空工业集团二等奖一项。作为课题负责人参与了多项国家级压力传感器开发项目,包括国家重点研发计划、自然基金委青年基金等,主持了航天科技集团、航空工业集团、兵器集团等多项军工领域特种压力传感器开发项目。以第一作者或通讯作者发表SCI论文15篇以上,申请国家发明专利20余项。


李昕欣,博士,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士生导师,曾连续两届担任传感技术国家重点实验室主任。他分别于清华大学和复旦大学获学士和博士学位,获得荣誉包括:国家杰出青年科学基金、全国百篇优博论文导师、新世纪百千万人才工程国家级人选、国务院政府特殊津贴、中科院百人计划终评优秀、上海市领军人才、国家技术发明二等奖和上海市技术发明一等奖各一项。他是MEMS与微纳传感器领域国际知名学者和国内科技带头人之一,主持国家863项目、重点研发计划项目、重大科学仪器项目等,担任国家重大专项“中医药关键技术装备”的战略筹备和方案制定专家组副组长、中科院基础元器件专家组成员。他兼任4本国际SCI期刊编辑或编委、Transducers大会程序委员会亚大区主席;发表SCI论文约300篇,专利100余项;担任三个国家学会二级分会副理事长;研制出的MEMS传感器满足了国家重要应用核心器件需求,并有多项成果转化给高科技企业实现了产品化。


黄晓东,博士,东南大学特聘教授,MEMS教育部重点实验室副主任,江苏省中青年学术带头人,国家重点研发计划项目负责人。他的研究方向包括:微能源与微系统、MEMS与智能传感器,迄今共以第一/通讯作者发表论文30多篇,主持国家重点研发计划项目、国家自然科学基金、江苏省优秀青年基金、中国电科等科研项目多项。他还担任IEEE EDSSC技术委员会共主席、全国敏感元件与传感器学术会议领导小组成员、中国仪器仪表学会传感器分会常务理事、IEEE高级会员、《传感技术学报》编委。


王军波,博士,中国科学院空天信息创新研究院研究员。2002年毕业于清华大学,同年到中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北方基地,历任助理研究员、副研究员、研究员、室副主任、党总支书记、室主任。2006年和2009年分别赴英国卢瑟福国家实验室、牛津大学工程系和美国加州大学伯克利(Berkeley)分校传感器与执行器中心(BSAC)从事合作研究。他的主要研究方向是传感器技术、MEMS技术与封装、微流控芯片、信号检测与仪表。2022年获得中国科技产业化促进会杰出贡献奖,2017年“高精度硅谐振压力传感器关键技术及应用”获得中国电子学会技术发明二等奖(第1完成人),2017年“高精度硅基MEMS谐振式压力传感器”入选第12届中国半导体创新产品与技术(第1完成人),2018年获得国家杰出青年科学基金资助。授权发明专利70余项,多项科研成果实现转移转化。


方续东,博士,西安交通大学副教授,博士生导师,教育部“微纳制造与测试技术”国际合作联合实验室主任助理,中国工程院旗舰期刊“Engineering”机械与运载工程学科秘书。他博士毕业于美国佐治亚理工学院,主要从事碳化硅(SiC)高温压力传感器等极端环境先进传感与微纳制造技术研究,主持了国家自然科学基金青年与面上项目、国家重点研发计划课题、军科委基础加强重点项目课题与技术领域基金等国家级项目5项,中航发产学研合作项目等省部级项目与企业横向项目10余项,在Engineering、Microsystems & Nanoengineering、Nano Energy等期刊发表论文50余篇,ESI高被引论文1篇,申请发明专利50余项(已授权中国发明专利15项、美国发明专利1项),参编中英文学术专著5本。


潘挺睿,博士,中国科学技术大学讲席教授,医疗器械创新研究院执行院长,入选国家级领军人才,教育部“长江学者”讲席教授,美国医学与生物工程院(AIMBE)Fellow,英国皇家化学学会(RSC)Fellow,归国前为美国加州大学戴维斯分校终身正教授。本科毕业于清华大学,博士毕业于美国明尼苏达大学,2006年起受聘于加州大学戴维斯分校生物医学工程系,期间担任加州大学微纳米制造中心(CNM²)和GREAT国际研究交流计划主任。2021年初回国,全职加入中国科学技术大学(苏州),筹建其首个医工交叉的新型研发机构—医疗器械创新研究院(iMED),并被国内外多所知名高校与科研院所聘为客座教授。潘教授带领的科研团队于2011年在国际上首次提出柔性离电传感机理(FITS | Flexible Iontronic Sensing),其拥有包括超高灵敏度、超薄柔性、超高光学透明度、环境可集成性等多项独特的性能优势,目前已成为第四代柔性触觉感知的核心技术。他因此荣获了包括美国科学基金会(NSF)杰出青年奖(CAREER)和科技前沿创新奖(EFRI)、施乐(Xerox)基金会奖、全球消费电子(CES)创新奖、加州大学杰出贡献奖和杰出青年教授奖、中国自然科学基金海外合作基金、中国创新创业大赛一等奖等诸多重要奖项。


陈涛,博士,毕业于中国科学院上海硅酸盐研究所,主要从事压电材料研发、压电器件设计和制造方面工作,曾参与上海市科委科研计划项目、973项目子课题、中英关于超高温压电材料国际合作项目等。2017~2018年,在英国伦敦大学皇后玛丽学院从事微波介质材料和器件的设计和研发,研究方向为介质滤波器和声表面波滤波器关键材料的制备和研发;2019~2020年,从事射频MEMS器件的开发和可靠性分析。他于2020年获得姑苏紧缺人才称号,于2022年获得姑苏领军人才称号。目前,他所在的技术团队以MEMS产品研发和量产为重点,作为团队主要成员负责MEMS传感器方向设计和工艺,包括工业级压力传感器、气体传感器和流量传感器攻关项目。他发表过SCI核心论文7篇,申请专利10余项。


张彤,博士,“长白山学者”特聘教授,吉林大学唐敖庆教授卓越B岗、博士生导师。全国百篇优秀博士论文指导教师、宝钢优秀教师获得者,吉林省有突出贡献的中青年专业技术人才。中国仪器仪表学会传感器分会理事、中国仪器仪表行业协会传感器分会理事、中国电子学会传感与微系统技术学会气湿敏专业委员会秘书长,教育部教学指导委员会-电子信息类专业教学指导委员会委员。她多年来致力于新型敏感功能材料的开发与气体、湿度、压力、生物传感器及其在工业、环境、家居、健康等领域的应用研究。她主持并完成国家自然科学基金项目及科技部重点研发课题多项,已发表SCI检索论文300余篇,SCI论文他引超过14000多次,授权国家发明专利20余项。她曾获吉林省科学技术奖(自然科学)一等奖1项、吉林省自然科学学术成果一等奖2项,是十余种国际著名学术期刊的审稿人。


唐瑞涛,博士,现任无锡怡声微纳医疗科技有限公司高级工程师,博士毕业于中国科学技术大学。曾就职于浙江清华柔性电子技术研究院。他主要从事压电式薄膜压力传感器的研发工作,研究方向包括聚合物压电薄膜材料制备、压电薄膜极化工艺、薄膜传感器结构设计、性能表征测试方法及定量化理论。他主持设计完成的压电薄膜传感系统能够应对多种复杂应用场景,性能远超同类型的压电薄膜传感器。他主持参与多项国家重点研发计划、国家重点基础加强项目、国家自然科学基金重点项目以及浙江省自然科学基金等,在相关领域发表论文15篇,申请国家发明专利20余项,主持制定/参与柔性电子器件可靠性标准2项。


郁哲,博士,现就职于华东师范大学集成电路学院/通信与电子工程学院,隶属于原位先进器件中心(合作导师:吴幸教授),博士毕业于中国科学院大学,先后在Nat. Commun.、Adv. Funct. Mater.、Mater. Today Phy.、J. Hazard. Mater.、ACS Appl. Mater. Interfaces、Adv. Electron. Mater.等期刊发表论文19篇,申请中国专利9项。目前,他主要从事触觉电子皮肤的设计开发与智能应用。


肖博文,硕士,毕业于哈尔滨工业大学动力工程专业,无锡市公开选调人才,目前担任国家物联网感知装备产业计量测试中心压力传感器实验室项目主管,主要从事压力传感器动态和静态测试、传感器产品可靠性测试工作,具有较为丰富的传感器产品测试经验。


七、培训费用和报名方式咨询

报名咨询:请发送电子邮件至BISainan@MEMSConsulting.com,邮件题目格式为:报名+压力传感器培训+单位简称+人数。

培训赞助:请致电联系毕女士(18921125675),或麦姆斯咨询固话(0510-83481111)。


麦姆斯咨询
联系人:毕女士
电话:18921125675
邮箱:BISainan@MEMSConsulting.com


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