2022年10月21日
第46期“见微知著”培训课程
声学MEMS与传感器

声学MEMS与传感器是指采用以MEMS为代表的微纳制造技术实现声学应用的传感器、执行器及微系统,例如MEMS麦克风、MEMS扬声器、压电式微机械超声换能器(PMUT)、电容式微机械超声换能器(CMUT)等。

关键词:声学MEMS, 麦克风, 扬声器, 超声换能器, 声学传感器

无锡新吴区

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