力学传感器是触觉感知系统的关键组成部分,而触觉感知则是实现智能机器人环境感知与人机交互的基础能力之一。随着人工智能技术的突飞猛进,触觉感知正迈入智能化发展阶段,为具身智能应用提供有力支撑。
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近些年,压电MEMS领域高度活跃,从材料体系到器件类型,越来越多元化,推动万物互联的人工智能应用。本课程邀请压电MEMS领域专家学者,为大家梳理压电材料及器件发展之路,讲授关键技术和研发经验。
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