2024年10月18日
第66期“见微知著”培训课程
MEMS制造工艺

以MEMS为代表的微纳制造技术可以构筑三维微机械结构，进而实现集成传感、执行等功能的微系统，代表以科技创新为引领的新质生产力。相比集成电路制造工艺，MEMS制造工艺不单纯追求线宽而注重特色化。

关键词：MEMS, MEMS制造, MEMS工艺

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2024年11月01日
第65期“见微知著”培训课程
光学超构表面及应用

在光学超构表面的“黄金时代”来临之际，本次培训课程将促进科学家和工程师交流超构表面的未来发展之路，共同推动超构表面的研究和开发，从而实现卓越的科研成果和广泛的产业应用。

关键词：超构光学, 超构材料, 超构透镜, 超构表面

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