第50期“见微知著”培训课程：半导体激光器及传感应用

激光被称为“最快的刀”、“最准的尺”、“最亮的光”，与原子能、计算机、半导体并称为20世纪新四大发明。麦姆斯咨询邀请在半导体激光器产业中拥有丰富实践经验的企业高管及科研学者，为大家传授半导体激光器及传感应用知识和经验。

主办单位：麦姆斯咨询

协办单位：上海传感信息科技有限公司

一、课程简介

半导体激光器（Semiconductor Laser）又称为激光二极管（Laser diode），是一种以半导体材料为增益介质，通过基于光子的受激辐射而产生的光放大过程实现发光的器件。激光被称为“最快的刀”、“最准的尺”、“最亮的光”，与原子能、计算机、半导体并称为20世纪新四大发明。世界上第一台激光器（红宝石激光器）诞生于1960年7月7日；随后在1962年，美国科学家成功研制出了第一代砷化镓（GaAs）同质结构注入型半导体激光器，并在1970年实现室温下连续激射。20世纪80年代以后，由于引入了能带工程理论，同时涌现了晶体外延材料生长新工艺，例如分子束外延（MBE）和金属有机化合物化学气相沉积（MOCVD）等，量子阱激光器登上历史舞台，大大提升了半导体激光器性能，实现了高功率输出。

半导体激光器发明人（左）和半导体激光器结构示意图（右）

根据器件结构，半导体激光器分为法布里-珀罗（F-P）型、分布式反馈（DFB）型、分布式布拉格反射（DBR）型等多种形式。根据发光方向，半导体激光器主要分为发光方向平行于衬底平面的边缘发射激光器（EEL）和发光方向垂直于衬底平面的垂直腔面发射激光器（VCSEL）。根据衬底材料，半导体激光器分为砷化镓（GaAs）基、磷化铟（InP）基、氮化镓（GaN）基等。GaAs基激光器的发光波长范围约为610~1300 nm，是激光雷达（LiDAR）、3D传感、血氧/脉博传感器、数据通信、激光显示（红光）的主要光源；InP基激光器的发光波长范围约为1250~1700 nm，是硅光子FMCW激光雷达、手机屏下3D传感、光纤通信系统的核心器件；GaN基激光器的发光波长范围约为220~530 nm，是血糖/血压/皮肤含水量等健康监测传感器、激光测量、激光显示（绿光、蓝光、紫光）的重要组件。

半导体激光器：VCSEL（左）和EEL（右）

光源发展之路（来源：罗姆）

半导体激光器发展的前25年主要是基础理论与科学研究的发展，而最近30多年则主要受到实际应用的巨大驱动作用，无论是在芯片的设计方面，还是在材料的生长方面，以及器件的制备方面，都取得了令人欣喜的进展。自从2017年起，以手机和汽车为代表的两大终端产品，以传感应用重塑了半导体激光器产业：VCSEL及其阵列成为苹果iPhone系列智能手机的标配，应用覆盖从基于散斑结构光的3D人脸识别到基于激光雷达扫描仪的增强现实（AR）；EEL和VCSEL成为汽车激光雷达的主要光源，应用包括高级驾驶辅助系统（ADAS）、自动驾驶（AD）、车内驾驶员和乘客监控等。近期，苹果公司在无创连续血糖监测领域的突破性进展使得以Apple Watch为代表的可穿戴设备集成基于半导体激光器的生物传感技术成为热门话题。

VCSEL传感应用（来源：《传感应用的VCSEL技术及市场-2021版》）

3D传感模组及核心元器件示例，VCSEL是其中的主要光源（来源：《传感应用的VCSEL技术及市场-2021版》）

鉴于此，麦姆斯咨询邀请在半导体激光器（以EEL、HCSEL、VCSEL为代表）产业中拥有丰富实践经验的企业高管及科研学者，为大家传授半导体激光器及传感应用知识和经验。本次课程内容包括：（1）半导体激光芯片材料；（2）半导体激光芯片设计与制造；（3）激光雷达与3D传感应用的边缘发射激光器（EEL）；（4）激光雷达与3D传感应用的水平腔面发射激光器（HCSEL）；（5）VCSEL技术及光传感应用综述；（6）短波长（650-680 nm）红光VCSEL芯片及健康传感应用；（7）近红外和短波红外VCSEL及传感应用；（8）汽车激光雷达应用的高功率VCSEL；（9）面向传感应用的窄线宽半导体激光器；（10）MEMS激光束扫描（LBS）技术及传感与显示应用；（11）激光雷达VCSEL驱动电路；（12）激光雷达与3D传感应用的VCSEL封装技术；（13）激光雷达与3D传感应用的VCSEL成品测试。

二、培训对象

本课程主要面向半导体激光器产业链上下游企业的技术人员和管理人员，以及高校师生，同时也欢迎其他希望了解半导体激光器及传感应用的非技术背景人员参加，如销售和市场人员、投融资机构人员、政府管理人员等。

三、培训时间

2023年5月5日~5月7日

授课结束后，为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。

四、培训地点

无锡市（具体地点以培训前一周的邮件通知为准）

五、课程内容

课程一：半导体激光芯片材料

老师：江苏华兴激光科技有限公司 总经理 罗帅

III-V族化合物大多数是直接带隙材料，其价带顶和导带底位于波矢k空间中同一位置，电子、空穴复合无需交换动量，因此具有很高的内量子效率，广泛应用于发光二极管（LED）以及激光二极管（LD）等发光元器件中。基于III-V族化合物的半导体激光器已有半个多世纪的发展历史，其波长覆盖范围从深紫外到远红外波段，输出功率从毫瓦级到千瓦级以上。本课程从半导体激光芯片材料入手，详细讲解外延生长工艺，以及材料表征与检测技术，最后探讨半导体激光芯片材料的国产化机遇与挑战。

课程提纲：
1. 半导体激光芯片材料概述；
2. 半导体激光芯片材料（GaAs、InP、GaN等）外延技术；
3. 半导体激光芯片材料表征与检测技术；
4. 半导体激光芯片设计与微纳光刻；
5. 半导体激光外延片产品介绍；
6. 半导体激光芯片材料国产化机遇与挑战。

课程二：半导体激光芯片设计与制造

老师：无锡邑文电子科技有限公司 副总经理 叶国光

1970年美国IBM公司提出超晶格量子阱的概念，随后借助MBE和MOCVD外延生长技术，使量子阱激光器的制作成为可能。量子阱激光器的诞生，是在引入异质结之后的又一次新的飞跃，实现了新的里程碑，被誉为新一代理想的半导体激光器。著名物理学家黄昆先生把量子阱激光器称为可与20世纪40年代发明晶体管相比拟的重大科学突破。本课程从激光器三要素（泵浦源、增益介质、谐振腔）出发，讲授半导体激光芯片的两个核心环节：设计与制造，并结合产业现状分析市场机遇。

课程提纲：
1. 半导体激光芯片设计理论；
2. 半导体激光芯片结构设计；
3. 半导体激光芯片制造工艺；
4. 半导体激光芯片制造设备；
5. EEL和VCSEL产业现状及市场机遇。

课程三：激光雷达与3D传感应用的边缘发射激光器（EEL）

老师：苏州长光华芯光电技术股份有限公司 产品经理 谭少阳

边缘发射激光器（EEL）与VCSEL相比，具有高功率密度和高脉冲峰值功率的特点，适合应用于长距离测距的汽车前视主激光雷达。目前最常用的EEL是InGaAs/GaAs应变量子阱脉冲激光二极管，发射波长以905 nm为主。除了汽车激光雷达，在智能手机方面，苹果iPhone 14 Pro将基于短波红外（SWIR）EEL的距离传感器放置于手机显示屏之下，配合散斑结构光模组实现人脸解锁。其中的EEL采用磷化铟（InP）衬底，发射波长为1380 nm。本课程全面讲解EEL关键技术，涵盖设计、外延、制造及测试，最后介绍EEL产业链及主要供应商。

课程提纲：
1. EEL概念、分类及应用；
2. EEL vs. VCSEL；
3. 激光雷达与3D传感应用的EEL设计；
4. 激光雷达与3D传感应用的EEL外延生长；
5. 激光雷达与3D传感应用的EEL制造工艺；
6. 激光雷达与3D传感应用的EEL测试与性能分析；
7. EEL产业链及主要供应商情况。

课程四：激光雷达与3D传感应用的水平腔面发射激光器（HCSEL）

老师：深圳市柠檬光子科技有限公司 董事长兼总经理 肖岩

柠檬光子自主研发的水平腔面发射激光器（HCSEL）结合了EEL高功率输出和VCSEL更适合大规模量产的优势，可同时满足激光雷达普及应用对光源的三大需求：更高的峰值功率、更小的光谱温度漂移、更长的激光波段。HCSEL发出的激光至少在一个方向上准直，这样简化了光学系统；通过光栅锁模，使激光发射模组无需加入任何光学器件就可具备中心波长范围小、谱宽窄、波长温漂小等特征，并且HCSEL可以同时拥有大的出光面积和高质量的光束，达到大功率、高亮度、光束均匀的激光特征，非常适于长距离、高精度激光雷达应用。本课程详解HCSEL技术原理、设计与制造，并结合激光雷达与3D传感应用介绍HCSEL发射模组。

课程提纲：
1. HCSEL概念、原理及特点；
2. HCSEL vs. EEL vs. VCSEL；
3. HCSEL芯片设计与制造；
4. HCSEL芯片的适用场景；
5. 激光雷达与3D传感应用的HCSEL发射模组；
6. HCSEL技术发展趋势。

课程五：VCSEL技术及光传感应用综述

老师：深圳瑞识智能科技有限公司 研发总监 李丹勇

自1977年日本东京工业大学的伊贺健一提出VCSEL概念起，VCSEL以较低的功耗和有竞争力的价格等优势被应用于短距离光通信领域。如今，VCSEL已经渗透至消费电子（例如智能手机和平板电脑）、汽车和工业等众多领域，实现了更多的高价值光传感功能。本课程从VCSEL原理入手，全面讲解VCSEL技术要点、3D传感系统架构、光传感应用（从消费电子到汽车电子）及产业化进展。

课程提纲：
1. VCSEL技术要点——原理、设计、制造；
2. VCSEL封装与光学集成技术；
3. VCSEL光传感系统架构——双目视觉、结构光、飞行时间（ToF）等；
4. VCSEL光传感应用及产业化进展——接近传感、SLAM导航、激光雷达、DMS/OMS等；
5. VCSEL未来展望。

课程六：短波长（650-680 nm）红光VCSEL芯片及健康传感应用

老师：武汉仟目激光有限公司 产品线总监 张岩松

仟目激光研发的红光VCSEL有源区采用InGaP/AlGaInP四元化合物半导体材料，波长覆盖650-680 nm，通过了严格的1000小时高温加速可靠性验证，可应用于血氧传感、环境监测、激光指示、光纤通信和烟雾感测等领域。相较于EEL，红光VCSEL拥有更具竞争力的性价比、更易于耦合的圆形光斑、更为容易的光学整形，为终端产品凸显成本与技术优势。本课程针对血氧传感器的要求，讲解红外VCSEL关键技术，最后展望VCSEL在其他健康传感领域的应用前景。

课程提纲：
1. 血氧传感器（血氧仪）工作原理：透射式 vs. 反射式；
2. 血氧传感器（血氧仪）对VCSEL的核心要求；
3. 红光光源在医疗生发上的应用；
4. 红光VCSEL芯片设计；
5. 红光VCSEL芯片外延及制造；
6. 红光VCSEL芯片测试；
7. VCSEL芯片在其他健康传感方面的应用展望。

课程七：近红外和短波红外VCSEL及传感应用

老师：电子科技大学 副研究员 任翱博

近些年，基于VCSEL的传感应用发展迅速，尤其是激光测距及健康监测。其中，近红外VCSEL常用波长为850 nm、905 nm、940 nm；短波红外VCSEL常用波长为1350 nm、1550 nm。虽然近红外VCSEL产业化应用较为成熟，但是短波红外VCSEL也有自己的独特优势，例如在手机方面可实现屏下传感，在汽车方面可实现远距离测距（保障人眼安全）。本课程首先阐述VCSEL研究发展历程，然后重点讲授GaAs基近红外VCSEL和InP基短波红外VCSEL设计与制造，最后介绍典型传感应用及技术展望。

课程提纲：
1. VCSEL研究发展历程；
2. VCSEL衬底材料、发光波长与增益；
3. 砷化镓（GaAs）基近红外VCSEL设计与制造；
4. 磷化铟（InP）基短波红外VCSEL设计与制造；
5. 近红外和短波红外VCSEL传感应用及技术展望。

课程八：汽车激光雷达应用的高功率VCSEL

老师：常州纵慧芯光半导体科技有限公司 FAE经理 张鹏飞

多结VCSEL将多个p-n偏置结在垂直方向上串联，相比单结VCSEL，能够输出更高的峰值功率，在相同光功率需求下，多结技术可减小激光芯片尺寸，降低工作电流（利于高速驱动及降低系统功耗），为激光传感应用提供更高的信噪比，探测更远的距离，有望成为未来汽车激光雷达光源的主流选择。本课程将为学员们分析自动驾驶汽车对激光雷达的核心要求，讲解被业界广为看好的多结、可寻址高功率VCSEL阵列技术及应用前景。

课程提纲：
1. 汽车激光雷达主要光源（光纤激光器、EEL、VCSEL）；
2. 汽车激光雷达VCSEL核心要求和及关键技术；
3. VCSEL车规级AEC-Q102认证；
4. 汽车激光雷达VCSEL发展趋势；
5. 汽车激光雷达VCSEL产业链。

课程九：面向传感应用的窄线宽半导体激光器

老师：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 副研究员 陈超

窄线宽激光器具有极高的光谱纯度、极大的峰值谱密度、超长的相干长度和极低的相位噪声，因而作为核心光源在引力波探测、激光雷达、光纤传感、光学时钟、冷原子物理、相干光通信、光学精密测量以及微波光子信号处理等领域中具有重要应用。激光及应用研究的深入开展，对激光器的综合参数性能提出了更高的要求，窄线宽激光器正沿着线宽超窄、时频超稳、波长可调和波长可扫等方向发展。本课程详解窄线宽半导体激光器原理和方案，介绍商业化情况及传感应用示例，最后提出新的思考启发大家讨论。

课程提纲：
1. 什么是窄线宽激光器？
2. 为什么需要窄线宽激光器？
3. 线宽理论及其影响因素；
4. 线宽与相位/频率噪声；
5. 激光线宽的测量方法；
6. 窄线宽半导体激光器的实施方案及原理；
7. 窄线宽半导体激光器的商业化情况；
8. 窄线宽半导体激光器的传感应用示例；
9. 新思考及讨论。

课程十：MEMS激光束扫描（LBS）技术及传感与显示应用

老师：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 研究员 沈文江

MEMS激光束扫描系统的核心元器件包括激光器、MEMS微镜、光学元件、驱动和控制芯片。该系统通过MEMS微镜操纵激光器发出的激光束，将可见光或红外图像投射到所需的视野上，可应用于激光雷达和增强现实（AR）显示。利用MEMS微镜执行光束操纵时，通常需要用到在垂直轴上旋转的两面反射镜。本课程从MEMS激光束扫描技术原理出发，重点讲解MEMS微镜及扫描模组设计，最后介绍传感和显示两大类应用。

课程提纲：
1. MEMS激光束扫描技术原理；
2. MEMS激光束扫描关键元器件之MEMS微镜设计与制造；
3. MEMS激光束扫描模组设计；
4. 基于MEMS激光束扫描的传感应用：激光雷达、3D传感；
5. 基于MEMS激光束扫描的显示应用：AR HUD、AR近眼显示、微投影。

课程十一：激光雷达VCSEL驱动电路

老师：复旦大学 高级工程师 邱剑

由性能卓越的高功率半导体激光器赋能的激光雷达（LiDAR）如今俨然成为自动驾驶汽车背后的重要感知技术，可以创建物理世界的实时3D图像。汽车激光雷达需要极短的激光脉冲，高频发射的脉冲产生更多的数据点，图像质量更佳，并且快速上升和下降的时间至关重要。本课程针对汽车激光雷达需求，从半导体激光器的工作原理和器件特性出发，分析其驱动电路设计要点，并介绍设计方案及验证方法，最后展望未来发展趋势。

课程提纲：
1. ToF和FMCW激光雷达对激光器的需求概述；
2. VCSEL脉冲驱动电路设计与分析；
3. VCSEL脉冲驱动电路参数测量与验证；
4. 封装对VCSEL窄脉冲发光特性的影响；
5. 激光雷达VCSEL驱动电路未来展望。

课程十二：激光雷达与3D传感应用的VCSEL封装技术

老师：浙江老鹰半导体技术有限公司 市场总监 芦勇

在常规的VCSEL封装中，VCSEL芯片通过若干金线与焊盘建立电气连接，但是金线，以及基板和引脚会引入一定杂散参数，从而影响驱动电路性能和光源发光波形。另外，高功率VCSEL工作过程中会产生大量热，如果不解决散热问题，会严重影响发光性能。因此，我们需要针对具体的应用要求，采用合适的封装类型，最大程度优化VCSEL器件性能。本课程讲解VCSEL封装结构设计及制造工艺，并分析激光雷达与3D传感应用的典型案例。

课程提纲：
1. LED vs. VCSEL；
2. VCSEL封装结构与工艺；
3. VCSEL封装（激光雷达与3D传感应用）典型案例分析；
4. VCSEL封装设计考虑因素与优化；
5. VCSEL封装（激光雷达与3D传感应用）发展趋势。

课程十三：激光雷达与3D传感应用的VCSEL成品测试

老师：柯泰光芯（常州）测试技术有限公司 光电产品总监 段力维

测试是保证VCSEL产品性能的关键环节之一，但是在新兴的3D传感和激光雷达（LiDAR）应用领域，VCSEL成品测试技术并不成熟，这直接影响到光电芯片、模组及系统厂商的产品研发和量产速度。本课程希望为您答疑解惑：VCSEL成品测试有哪些关键项目？VCSEL测试方法及流程如何？常见VCSEL测试设备有哪些？……通过本课程学习，您还可以降低VCSEL产品开发中的隐性成本，并提升量产效率。

课程提纲：
1. VCSEL静态特性和动态特性；
2. VCSEL小信号调制特性；
3. LED测试 vs. VCSEL测试差异；
4. 单点VCSEL测试 vs. 阵列VCSEL测试；
5. 单结VCSEL测试 vs. 多结VCSEL测试；
6. 激光雷达（dToF）VCSEL芯片/模组的常见测试项目、意义和方法；
7. 3D传感（iToF）VCSEL 芯片/模组的常见测试项目、意义和方法；
8. VCSEL芯片/模组测试效率提升方法；
9. 常见VCSEL测试设备及能力介绍。

六、师资介绍

罗帅，博士，国家“万人计划”专家。2013年毕业于中国科学院大学微电子学与固体电子学专业，获工学博士学位，现任江苏华兴激光科技有限公司总经理，中国科学院半导体研究所副研究员。罗帅主要从事半导体激光芯片材料外延及器件应用方面的研究，特别是在砷化镓（GaAs）、磷化铟（InP）基半导体激光芯片材料外延生长方面拥有深厚的一线经验积累，并取得了一系列创新性成果：（1）研制出高性能808 nm、905 nm、915 nm、976 nm、1064 nm FP/DFB系列激光晶圆产品，并实现规模化量产。（2）研制出通信用1270-1330 nm波段2.5G小发散角、10G、25G系列激光晶圆产品，并实现量产。（3）成功地解决了大晶格失配InAs/InP量子阱（点）外延制备技术难题，所制备的2英寸1.9-2.3微米外延晶圆波长不均匀性低于±3 nm，激光器阈值电流密度低至150 A/cm²，达到同类器件国际先进水平。迄今，他在Opt. Express、IEEE Photon. Technol. Lett.等国际刊物上已发表SCI期刊论文20余篇，重要的国际、国内会议论文20余篇，申请专利30余项，获授权专利20余项。他作为主持及核心骨干参与完成多项国家及省级研发项目，包括国家重点研究计划、国家自然科学基金及江苏省重点研发计划等。2016年合伙创建江苏华兴激光科技有限公司，注册资本6159.6941万元，投资超过5亿元，建成了建筑面积2.3万平米的生产厂房，拥有过亿元的高端半导体产线设备，致力于将具有自主知识产权的高端半导体激光芯片材料技术产业化。他先后获得科技部科技创新创业领军人才、“创客中国”中小企业创新创业大赛全国二等奖、中国创新创业大赛新材料全国二等奖、中国青年创新创业大赛全国银奖、江苏科技创新创业大赛新材料一等奖等。

叶国光，博士，无锡邑文电子科技有限公司（简称：邑文科技）副总经理。他在半导体行业沉淀凝练24年，从台湾清华大学毕业之后，东渡日本名古屋工业大学探求新知，主要研究方向为化合物半导体器件与原子层沉积（ALD）技术，在LED、LD、HEMT与VCSEL的技术开发与ALD应用于半导体器件的技术方面具有非常权威的专长。他曾担任华南理工大学材料科学研究所客座教授，开展光电半导体材料专业人才的培育工作；任职于芬兰派科森纳米科技公司（Picosun Oy）中国区总经理期间，他带领中国区团队在三年时间将年销售额从2018年的2000万元提高到2020年的12000万元，并积极引进芬兰ALD技术至国内，与国内多家顶尖科研中心与高科技公司成立联合实验室，加速ALD技术在国内的普及，推动国内半导体产业技术升级。他目前任职于邑文科技，专注半导体设备国产化，也兼职东南大学微电子学院研究生导师，培养国内半导体设备制造与工艺的人才。他未来的工作目标是破解国际对中国半导体产业的限制，让世界了解中国，也让中国高科技贡献世界。

谭少阳，博士，中共党员，苏州长光华芯光电技术股份有限公司（简称：长光华芯）项目研究员、产品经理。江苏省“双创博士”，江苏省“六大人才高峰”高层次人才，江苏省“产业教授”。江苏省科学技术一等奖获得者。他长期致力于高能单管芯片研发及产业化，技术专长包括半导体激光器材料设计、结构设计、芯片制备工艺、性能测试分析与模拟仿真。他主导开发高功率激光芯片、VCSEL与通讯芯片。在国家重点专项“千瓦级准连续全固态激光材料与器件关键技术”2017YFB0405102课题中，其作为子课题负责人参加和负责高功率激光芯片研发的国家重点研发计划项目。他还开发了国际先进、国内技术水平最高的高亮度长寿命型半导体激光芯片，承担/参与了国家省部级项目6项，授权发明专利10余项。

肖岩，博士，现任深圳市柠檬光子科技有限公司董事长兼总经理。他博士毕业于美国伊利诺伊大学电子工程专业，本科和硕士毕业于清华大学。他曾任职多家国际顶尖激光公司技术和管理岗位，是半导体激光器技术及应用专家，拥有超过20年激光和光电子研发经验，对高功率激光器及其相关器件，特别是半导体激光器的原理、设计、工艺、制造、测试、可靠性检验和应用具有丰富的知识体系和实战经验。他于2018年创立柠檬光子，公司自主研发的新型水平腔面发射激光器（HCSEL）产品将更好地满足激光雷达和3D传感应用在特定场景下对激光光源在高功率、高光束质量、高可靠性、低波长温漂和人眼安全波长范围等的行业需求。

李丹勇，本科毕业于中国科学技术大学，硕士毕业于美国罗切斯特大学。2003~2010年在罗切斯特大学激光能源实验室参与惯性约束核聚变的理论与数值模拟研究。2011年回国加入数岩科技有限公司（iRock Technologies），负责石油天然气勘探开发领域的岩石流体力学、电磁学和光学等物理特性的数理建模与数值模拟研发工作。2016~2018年任欧勒姆能源科技有限公司（Oleum Technologies）技术研发副总，负责多孔介质中流固耦合、热传导、核磁共振等物理机理的理论与数值模拟研发工作。2018年加入瑞识科技，负责VCSEL光学设计与光传感应用研发工作。他拥有二十年理论物理、应用数学和数值模拟方面的研究经验，以及多年VCSEL光学集成和光传感系统研发经验。

张岩松，硕士，武汉仟目激光有限公司产品线总监，毕业于美国中佛罗里达大学光学院（CREOL，University of Central Florida），师从氧化物VCSEL发明人Dennis Deppe教授，曾任职于Lumentum与NeoPhotonics。在VCSEL、DFB、EEL等多款基于砷化镓材料体系的光电芯片方面拥有丰富的研发、量产经验。他带领公司成为某智能手机厂商的VCSEL供应商，与仟目激光的研发同事一起实现了25G、50G PAM4、100G PAM4 VCSEL的产品演进。

任翱博，博士，电子科技大学基础与前沿研究院副研究员，四川大学和东京大学联合培养博士，电子科技大学博士后，英国萨里大学访问学者，中国科协“人才托举工程计划”青年人才，主持国家自然科学基金青年项目、博士后面上项目、四川省自然科学基金项目。他主要从事半导体材料和光电器件研究，具体包括化合物半导体异质结构、半导体激光器、光电探测器、异质集成新型光源等，近年在Nat. Electronics、Nat. Photonics、Joule、Adv. Funct. Mater.等期刊上发表论文40余篇，其中第一/通讯作者20篇、申请发明专利21项。他现为IEEE会员、中国光学工程学会会员、Electronics客座编辑。

张鹏飞，材料加工工程（固体电子学方向）硕士，毕业于南京航空航天大学，一直从事化合物半导体器件的设计及应用研究，在相关领域获得多项奖励，并申请多项专利。他具备丰富的砷化镓（GaAs）、氮化铝（AlN）等化合物半导体器件的设计和应用经验，熟知当前最新的3D传感和激光雷达（LiDAR）技术、激光芯片工艺制造流程，现为常州纵慧芯光半导体科技有限公司（简称：纵慧芯光）FAE经理，主要负责VCSEL相关激光芯片产品的定义及应用拓展、客户支持。

陈超，博士，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所副研究员，中国科学院特聘骨干岗位。他的研究领域包括窄线宽半导体激光器、混合集成激光器、相干光通信发射芯片以及光纤光子器件。作为项目负责人，他先后承担国家重点研发计划子课题、军科委重点项目课题、国家自然科学基金面上项目、吉林省重点研发项目、市院合作项目以及企业委托项目等十余项。相关领域的原创性工作包括在Optics Letters、Optics Express、Journal of Lightwave Technology、Optics & Laser Technology等期刊发表论文60余篇，总引用1100余次，H-index为18。研究成果曾被OSA News Releases、Eurekalert等知名科学媒体报道。他获得授权发明专利9项，被会议特邀报告5次。目前担任《光子学报》第一届青年编委会委员和《发光学部》首届青年梯队编委会委员，担任Sensors期刊客座编辑。他还获得2021年中科院长春光机所优秀成果奖。

沈文江，博士，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员、博士生导师。他本科和硕士毕业于清华大学材料科学与工程系；2004年博士毕业于加州大学洛杉矶分校（UCLA）机械工程系。博士毕业之后，他在California NanoSystem Institute（CNSI）进行一年半的博士后研究工作。2005年底，作为研发工程师加入美国MEMS公司Innovative Micro Technology，2008年被提拔为项目经理。他有丰富的MEMS器件研发和产业化经验，领导的团队成功地把多个MEMS产品从研发阶段做到量产阶段。他同时活跃在MEMS研究的前沿领域，曾与麻省理工学院（MIT）研究组合作，研发出世界上最灵敏的流体中的质量传感器，可以探测流体中单个细胞、病毒，成果发表在Nature期刊上。在此基础上，他用2年时间成功把这个尖端科技商业化，研发出用于测量液体中微纳颗粒、单细胞、病毒的检测系统，该系统获得2010年R&D 100 Awards和2010年Pittcon Editors’ Gold Award。他2011年11月加入中科院苏州纳米所，研究兴趣主要集中在微米和纳米尺度制造，应用微纳制造技术来设计和制造微纳器件，并且把这些器件应用在激光传感、光学显示、能源、生物等领域。

邱剑，博士，2004年和2007年分别获得华中科技大学学士与硕士学位，2014年获得复旦大学博士学位。2007年至今，就职于复旦大学信息科学与工程院。现任复旦大学信息科学与工程学院高级工程师、硕士生导师，主要研究方向为高功率电子学、脉冲功率技术以及大功率激光雷达及应用。他还担任中国电工技术学会等离子体及应用专业委员会委员，中国核学会脉冲功率技术及其应用分会理事。他曾主持和参与研究多项国家自然科学基金青年项目、面上项目及重点项目、国防军工等项目，已发表SCI及EI论文70余篇，授权专利30余项。此外，他还指导研究生获得第五届“互联网+”创新创业大赛全国铜奖、第三届全国“源创杯”创新创意大赛三等奖。

芦勇，现任浙江老鹰半导体技术有限公司VCSEL产品线市场总监。他曾在Lumentum等多家国际头部半导体激光器公司任职，负责车载激光雷达（LiDAR）以及消费电子领域3D传感VCSEL芯片的市场开发。他在半导体激光器领域有着近20年的产品研发及市场开发经验，拥有非常深厚的行业洞察能力。

段力维，柯泰光芯（常州）测试技术有限公司（简称：柯泰测试）光电产品总监，主要从事光通信及消费类VCSEL测试方案的开发和应用。他曾供职于烽火通信、Molex等公司，在光通信行业有10年以上的光电产品测试经验。目前，柯泰测试已为VCSEL产业链上下游的多家企业提供测试解决方案和咨询服务。

七、培训费用和报名方式咨询

报名方式：请发送电子邮件至BISainan@MEMSConsulting.com，邮件题目格式为：报名+半导体激光器培训+单位简称+人数。

培训赞助：请致电联系毕女士（18921125675），或麦姆斯咨询固话（0510-83481111）。

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