第43期“见微知著”培训课程：压电MEMS与传感器

以压电MEMS为代表的新技术进入黄金发展期，燃起业界对未来的希望——基于压电MEMS的新器件层出不穷，推动MEMS和传感器产业向前发展，赋能万物互联的智能化应用。

主办单位：麦姆斯咨询

协办单位：上海传感信息科技有限公司

一、课程简介

2022年新冠疫情仍伴随着我们，MEMS产业链也面临着种种挑战。但是，以压电MEMS为代表的新技术进入黄金发展期，燃起业界对未来的希望——基于压电MEMS的新器件层出不穷，推动MEMS和传感器产业向前发展，赋能万物互联的智能化应用。为此，全球MEMS产业领域的两大IDM巨头——博世（Bosch）和意法半导体（STMicroelectronics）积极参与其中，对外提供压电MEMS研发及代工服务，确保新产品的量产能力和可靠性。

意法半导体全球首创“Lab-in-Fab”概念，构建8英寸压电MEMS研发线

在国内方面，国家智能传感器创新中心、上海微技术工研院和苏州纳米城MEMS中试平台都发布了压电MEMS工艺能力，投身于新技术培育孵化和多功能产品定义。中芯集成、中芯宁波、赛微电子等MEMS代工厂主要在滤波器领域展开布局。2021年，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目启动会在天津召开，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面，具有重要而深远的意义。

压电器件类型：块体型（Bulk）、厚膜型（Thick Film）、薄膜型（Thin Film）（来源：ULVAC）

随着先进材料和MEMS技术的不断发展，以锆钛酸铅（PZT）和氮化铝（AlN）为代表的薄膜型压电材料的制备越来越成熟。薄膜型压电器件可利用MEMS代工厂，开发与CMOS兼容的量产工艺，从而改变传统压电器件“体积大、功耗高、批量生产能力低、价格贵”的形象，对消费类应用领域来讲极具吸引力！在薄膜型压电器件中，体声波滤波器（BAW）是当前的最大功臣，占据最大的市场份额；其它产品，例如超声波换能器、扬声器、麦克风、惯性传感器、微镜，也在不断探索新应用，以期挖掘高价值的蓝海市场。

在压电执行器方面，USound于2022年发布新款压电式MEMS扬声器，适用于兼容磁共振成像（MRI）的耳机及配件；xMEMS于2021年推出多款单芯片压电MEMS扬声器，例如Cowell主要面向TWS耳机和助听器应用，而Tomales主攻智能眼镜和AR/VR头戴式设备应用；Piezo Motion于2021年宣布全球首创一款新型压电微剂量泵（超精密旋转压电马达+微型注射器），能够为生命科学实验室设备提供精确的微流体控制；富士胶片于2021年发布硅基MEMS压电喷墨打印系统X-BAR，集成的打印头基于溅射法制备的压电陶瓷薄膜，可以实现数万亿次执行的长寿命。

典型的压电MEMS执行器

在压电传感器方面，Vesper于2022年发布第二代智能压电语音加速度计VA1210，提供更高的灵敏度和信噪比，并且集成语音唤醒等新功能；能斯达电子于2022年宣布压阻与压电二合一的复合柔性微纳传感器的研发成功，该产品能够同时实现动态和静态力学信号的宽范围、高灵敏检测；茂丞科技于2021年推出芯片级压电超声波换能器JMS922，以及应用于电子烟油质量与液位检测的ToF解决方案；imec于2021年展示一款基于压电超声波换能器的超声探头，并实现动脉硬化检测以及血压监测的概念验证。

典型的压电MEMS传感器

为了助力中国压电MEMS和传感器产业发展，麦姆斯咨询从2019年起每年都会甄选市场热点与技术重点，量身定制相关主题的培训课程。2022年，麦姆斯咨询从压电传感器和压电执行器两方面出发，策划课程内容涵盖：（1）BAW滤波器和BAW传感器；（2）SAW传感器和SAW微流控；（3）石英晶体微天平传感器；（4）SAW滤波器及压电声子晶体；（5）压电MEMS声学传感器；（6）压电MEMS微镜和压电MEMS变形镜；（7）柔性压电式压力传感器；（8）BiFeO3压电薄膜及MEMS器件应用；（9）压电MEMS谐振器与振荡器；（10）压电MEMS微执行器技术研究进展；（11）氮化铝MEMS大有可为。

二、培训对象

本课程主要面向压电MEMS与传感器产业链上下游企业的技术人员和管理人员，以及高校师生，同时也欢迎其他希望了解压电MEMS与传感器的非技术背景人员参加，如销售和市场人员、投融资机构人员、政府管理人员等。

三、培训时间

2022年6月24日~6月26日

授课结束后，为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。

四、培训方式

原计划线下举办，因为疫情影响改为线上直播课程和答疑。

五、课程内容

课程一：BAW滤波器和BAW传感器

老师：西南科技大学 研究员 高杨

BAW滤波器和BAW传感器的基本构件是基于MEMS技术的谐振器，主要包括FBAR和BAW-SMR两大类。BAW滤波器因具有低插入损耗和高Q值成为高性能5G射频前端系统的首选，吸引众多海归专家与本土人才投身创业大潮。BAW传感器通过检测谐振器的谐振频率变化得到待测物理量，具有灵敏度高、工作频率高等优点。本课程从压电材料体系出发，详细介绍BAW谐振器及滤波器、BAW压力传感器及读出电路的核心技术。

课程提纲：
（1）压电材料体系综述；
（2）BAW谐振器及滤波器设计与制造；
（3）BAW滤波器产业现状及发展趋势；
（4）BAW压力传感器设计与制造；
（5）BAW压力传感器读出电路设计；
（6）BAW技术创新与挑战。

课程二：SAW传感器和SAW微流控

老师：岳麓学者、博士生导师 周剑

SAW器件的声波传播能量主要集中在固体表面，当固体表面受到外界的刺激（力、电、磁、热）时，声波波速变化，导致谐振频率变化，通过探测频率偏移，实现对外界参量（如温度、粘度、气体浓度、曲度）的探测。而通过在一次性芯片表面上图案化的微结构来控制表面声波与微流体之间的相互作用，以随频率变化的特定方式来形成声波，在许多生物和医疗应用中具有巨大的前景。本课程将为学员们讲解SAW传感器和SAW微流控的核心技术和典型应用。

课程提纲：
（1）SAW基本概念、内涵；
（2）SAW传感器原理和无线无源监测；
（3）SAW传感器的制备和封装工艺；
（4）柔性SAW、透明SAW、超高频SAW前沿进展；
（5）SAW传感器产业现状和主要厂商；
（6）SAW微流控原理和应用：声线、粒子集聚、微泵和雾化；
（7）SAW微流控产业现状。

课程三：石英晶体微天平传感器

老师：上海大学 教授 徐甲强

石英晶体微天平（QCM）利用石英晶体的压电效应，将电极表面的质量变化转化为振荡电路输出的电信号频率变化，进而再通过处理电路获得高精度的数据，在微量及痕量物质检测方面具有优势，广泛应用于化学、物理、生物和医学领域。此外，根据实际应用需求，还可以在电极上选择性地镀膜来进一步拓展检测领域。本课程详细讲解石英晶体微天平技术及应用，重点在于气体和湿度传感器设计与制造。

课程提纲：
（1）石英晶体微天平概念及工作原理；
（2）石英晶体微天平应用进展；
（3）基于石英晶体微天平的甲醛传感器设计与制造；
（4）基于石英晶体微天平的湿度传感器设计与制造；
（5）石英晶体微天平传感器技术展望。

课程四：SAW滤波器及压电声子晶体

老师：中国科学院声学研究所 副研究员 田亚会

随着5G移动通信的迅速发展，手机射频前端对高性能滤波器的需求与日俱增。近年来，声表面（SAW）滤波器逐渐向温度补偿型、薄膜型、超高性能、大宽带等方向进行技术改进，成为手机射频前端中的关键元器件之一。本课程从SAW基础知识出发，分别讲解传统SAW滤波器、温度补偿型SAW滤波器、压电单晶薄膜SAW滤波器，以及SAW滤波器发展趋势。作为前沿超材料分支的压电声子晶体，具有声波调控的巨大潜力，本课程也会讲解其在SAW器件中的应用。

课程提纲：
（1）声表面波（SAW）技术概述；
（2）SAW滤波器仿真方法及结构设计；
（3）温度补偿型SAW滤波器仿真；
（4）压电单晶薄膜SAW滤波器性能分析；
（5）SAW滤波器发展趋势；
（6）压电声子晶体分析理论及其在SAW器件中的应用。

课程五：压电MEMS声学传感器

老师：武汉大学 讲师 刘文娟

近些年，压电MEMS技术在声学传感领域发展迅速，典型应用包括麦克风、超声换能器、水听器等。以压电薄膜替代传统电容结构的压电MEMS麦克风的主要优点包括：（1）高可靠性，防水防尘性能优秀；（2）无需电荷泵，降低语音唤醒和始终在线的功耗；（3）更快的响应速度，减少语音交互延迟；（4）高声学过载点（AOP），可用于嘈杂或工业环境。本课程从压电薄膜生长到压电器件设计与制造，讲解麦克风和超声换能器两大热门产品。

课程提纲：
（1）压电MEMS声学传感器概述；
（2）氮化铝/掺钪氮化铝薄膜生长与器件制备；
（3）压电MEMS超声换能器（PMUT）设计与制造；
（4）压电MEMS麦克风设计与制造；
（5）基于PMUT的高分辨率超声成像系统展望。

课程六：压电MEMS微镜和压电MEMS变形镜

老师：华中科技大学 教授 余洪斌

MEMS微镜指采用MEMS制造技术，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学器件，在激光雷达、3D摄像头、微投影仪、汽车智能前灯、光通信等应用扮演着重要角色。MEMS变形镜是自适应光学系统的关键元件，对波前像差的拟合能力决定了自适应光学系统的校正性能。本课程详解基于氮化铝（AIN）的MEMS微镜和MEMS变形镜技术及未来发展。

课程提纲：
（1）MEMS微镜基本概念及驱动技术（压电驱动、静电驱动、电磁驱动、电热驱动）特性分析；
（2）压电MEMS微镜技术发展现状及其面临的问题和解决方案；
（3）压电MEMS微镜器件设计和制造实例；
（4）自适应光学基本概念和工作原理；
（5）压电MEMS变形镜技术发展现状及其面临的问题和解决方案；
（6）压电MEMS变形镜器件设计和制造实例。

课程七：柔性压电式压力传感器

老师：浙江清华柔性电子技术研究院 副研究员 唐瑞涛

随着材料科学、柔性电子和微纳技术的发展，各种柔性压力传感器应运而生，它们通常由两层柔性电极和中间的功能软材料构成，具有可弯曲、可变形的特点。聚偏二氟乙烯（PVDF）是一种有机压电聚合物，可用于柔性压力传感器、超声波指纹识别传感器等。基于PVDF的柔性压力传感器在智能触觉、健康监测、生物医疗、人机交互等领域具有应用潜力。本课程针对柔性压电式压力传感器进行详细剖析，并对未来技术发展进行展望。

课程提纲：
（1）柔性压电材料介绍；
（2）PVDF压电薄膜及其性能；
（3）柔性压电式压力传感器设计；
（4）柔性压电式压力传感器制造；
（5）柔性压电式压力传感器测试；
（6）柔性压电式压力传感器技术展望。

课程八：BiFeO₃压电薄膜及MEMS器件应用

老师：齐鲁工业大学 教授 欧阳俊

近年来，随着MEMS、传感器及随机存储器等行业的迅速发展，具备优异的铁电和压电性能的薄膜材料已经成为研究领域的热点之一。目前，铅系材料仍然是应用于这些领域的主体材料，但是其在制备和使用的过程中会对环境造成严重的污染问题。因此，寻找一种无铅且性能优越的材料成为大势所趋。BiFeO₃薄膜因其优异的铁电和压电性能而受到人们的广泛关注，成为可以与铅系材料相媲美的一类无铅铁电环保材料。本课程详细讲解BiFeO₃薄膜材料性质、制备与表征方法，以及基于BiFeO₃薄膜的MEMS器件。

课程提纲：
（1）BiFeO₃材料介绍；
（2）BiFeO₃薄膜制备及表征方法；
（3）基于BiFeO₃压电薄膜的MEMS器件原型及表征；
（4）BiFeO₃压电薄膜的性能调控；
（5）BiFeO₃压电薄膜技术发展及应用展望。

课程九：压电MEMS谐振器与振荡器

老师：武汉大学 教授 吴国强

时钟器件是电子电路设备的心脏，提供时间参考和频率基准。MEMS时钟器件（例如MEMS振荡器）是MEMS细分市场增速领先的产品。相比传统的石英晶体振荡器，压电MEMS振荡器具有小尺寸、高可靠性、低功耗和可编程等优势，在可穿戴设备、物联网、智能手机和汽车等领域具有广阔的应用前景。本课程讲授MEMS谐振器与振荡器基础知识、设计理论、系统应用以及产业化的关键技术。

课程提纲：
（1）MEMS谐振器、振荡器及时钟概念、原理及分类；
（2）MEMS时钟器件产业情况及主要厂商；
（3）压电MEMS谐振器设计理论；
（4）压电MEMS谐振器关键技术；
（5）压电MEMS谐振器与振荡器设计、制造及测试。

课程十：压电MEMS微执行器技术研究进展

老师：乌镇实验室 研究员 杜亦佳

压电MEMS通过单片集成形式即可实现执行、传感、能量收集和无线通信，是应用潜力巨大的热点技术。压电MEMS微执行器能够精确、自主地执行复杂动作如直线、旋转、加速度、钳动等，以此完成对极微小器件与结构的纳米尺度精确操作。因此，压电MEMS微执行器不但能够满足集成微系统（IMS）对自测试性、微定位性和片上操控性的严苛要求，同时能够满足集成微系统对输出力矩/体积效能比、响应速度、分辨率、功耗、集成度方面的需求。通过本课程的学习，您可以全面了解压电MEMS微执行器技术及应用。

课程提纲：
（1）压电MEMS微执行器基本概念和工作原理；
（2）压电MEMS微执行器结构设计；
（3）压电MEMS微执行器制造工艺；
（4）基于KNN薄膜的压电MEMS换能器设计与制造；
（5）压电MEMS微执行器应用领域及发展趋势。

课程十一：氮化铝MEMS大有可为

老师：天津大学 助理教授 张孟伦

氮化铝（AlN）压电薄膜作为一种重要的III-V族化合物材料，具有高声波速、高压电性以及良好的化学稳定性等优点，在传感器、高频声波谐振器及滤波器等领域备受关注。通过在氮化铝中掺入稀土元素或过渡金属元素，还可以改善材料的机电耦合系数和压电系数，实现更有效的机械能-电能转换，例如掺钪（Sc）氮化铝（AlScN）薄膜可以提高射频器件的工作效率。并且，氮化铝压电薄膜制造工艺可与CMOS工艺兼容，这些都使得氮化铝压电薄膜成为当前最炙手可热的压电薄膜材料之一。本课程详细阐述氮化铝MEMS技术发展之路及典型的氮化铝MEMS器件。

课程提纲：
（1）过去40年：MEMS平台技术演进——从硅到氮化铝；
（2）过去20年：氮化铝MEMS小试牛刀——从谐振器到麦克风；
（3）未来20年：氮化铝MEMS大展宏图——从传感到执行；
（4）典型的氮化铝MEMS器件剖析。

六、师资介绍

高杨，博士，研究员、博导，主要研究方向为军民两用微系统技术及其应用，涉及RF MEMS关键技术、BAW滤波器及双工器、BAW传感器等。2000年毕业于北京理工大学电子工程系，获博士学位，是李幼平院士（中国工程院）培养的第一位博士；2004年上海交通大学电子学与固态电子学专业在职博士后出站。1996年至2019年，在中国工程物理研究院电子工程研究所工作，历任3个研究室（处级）的主要领导和所科技委委员。2019年，他作为“拔尖人才”被全职引进到西南科技大学，创建了西南科技大学微系统中心（SWUST Microsystem Center）、四川爆米（BAW ME）微纳科技有限公司。他主持过装备型号/背景型号/预研/重大基础研究项目或子项目，以及863计划、国防基础研究、国家自然科学基金、省部级重点基金等纵向科研项目20余项；获部级一等奖1项（排名2）、部级二等奖1项（排名1）、部级三等奖5项（排名1、1、2、3、4）。授权发明专利40余项；一作发表学术论文100余篇，其中SCI/EI检索40余篇；近5年在本专业重要学术会议做特邀报告10余次。2019年当选“第一届中国测试学术影响力人物”。

周剑，多次获得麦姆斯咨询颁发的年度讲课老师称号，博士，岳麓学者、副教授、博士生导师，英国爱丁堡大学访问学者，教育部联合基金（青年人才）项目和湖南省自然科学基金优秀青年基金获得者。他长期从事SAW传感器和微流控研究，在SAW传感器和微流控基础材料加工、芯片设计、Comsol仿真、传感器和微流控测试等方面积累了丰富的经验。他承担了国家自然科学基金面上项目、青年基金、科技委基础加强基金、教育部联合基金、湖南省科技公关项目、湖南省重点研发子课题、广东省重点研发子课题等十余个项目。在Nano Letters、ACS AMI、ACS sensors、IEEE TMI、APL等发表了SCI/EI论文60余篇，被引次数约1000次，授权发明专利10余项。他还曾获湖南省仪器仪表学会科学技术奖一等奖、中国中车科学技术奖二等奖、校优秀教师新人奖、校教学比赛二等奖。

徐甲强，博士，上海大学教授、博士生导师、理学院副院长。他于2003年获得河南省杰出青年科学基金资助，入选由斯坦福大学和爱思维尔集团发布的1960-2019年终身科学影响力排行榜，2019年分析化学前2%顶尖科学家。1985年毕业于郑州大学化学系，获理学学士学位；1988年毕业于中国科技大学，获无机化学理学硕士学位；2005年毕业于上海大学，获材料学工学博士学位。他长期从事纳米结构材料的设计、制备及其在能源存储转换材料与器件、化学与生物传感器等领域的研究工作。研究项目“金属氧化物气敏材料的微结构设计、可控制备及其增敏机理研究”获2015年上海市自然科学二等奖；“碳纤维自行车整体车架研制开发”、“催化剂在半导体气敏材料中的应用”和“氧化锡气敏粉体的制备及其应用研究”等5项成果分别获河南省科技进步二等奖和三等奖。他拥有发明专利25项，发表SCI论文300篇，先后入选ESI高被引论文15篇，总被引次数10200，H指数57。现主持1项国家重点研发计划项目课题“硅基晶圆级气敏薄膜制备与热学特性测试”、1项国家自然科学基金面上项目“PdM双金属纳米晶的可控合成及其对金属氧化物气敏材料的多重增敏机理研究”；副主持1项国家重大科研仪器研制项目“基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置”和1项国家自然科学基金-河南省联合基金重点项目“煤矿瓦斯检测用新型氧化物半导体气敏材料构筑及性能调控”；参与2017年国家重点研发计划新能源汽车燃料电池和超级电容器项目2项；与上海卡耐能源有限公司、上海奥威科技发展有限公司和上海摇撸仪器有限公司分别在锂离子电池、超级电容器和呼吸气检测等领域开展了紧密合作，以推进科技成果的产业化。

田亚会，博士，中国科学院声学研究所副研究员，研究方向主要集中于微声学器件的仿真理论、结构设计，以及无线无源微声传感器和射频滤波器的应用研究。她发表学术论文40余篇，申请并授权专利8项，主持和参与国家重点研发计划、自然基金面上项目、自然基金青年基金及地方重点研发等多项科研项目。她曾获多项优秀学术论文奖，先后入选“北京市科技新星计划”、“中国声学学会青年托举人才”、“中国科学院青年创新促进会”。

刘文娟，博士，武汉大学工业科学研究院讲师，博士毕业于复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室。她的研究方向为压电MEMS器件及应用，主要从事压电MEMS声学传感器设计与制备、氮化铝/掺钪氮化铝薄膜生长、高分辨率超声成像系统等研究。她在IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control、IEEE Sensors Journal、IEEE IUS等著名国际期刊及高水平国际会议上发表论文10余篇，申请及授权中国发明专利共3项，参与包括国家科技部重点研发计划、国家自然科学基金以及重要企业资助等科研项目共5项。

余洪斌，多次获得麦姆斯咨询颁发的年度讲课老师称号，博士，华中科技大学教授（楚天学者特聘教授）。他2005年毕业于华中科技大学获光学工程博士学位，随后赴新加坡国立大学从事微电子（光电子）机械系统（MEMS/MOEMS）技术领域的研究工作，历任研究员和高级研究员。他曾为新加坡科技局微电子研究院研究员、项目负责人（PI），同时担任新加坡国立大学机械工程系客座助理教授。他一直从事基于MEMS/MOEMS技术新型功能器件（诸如微型扫描仪、微型光谱仪、微型摩擦测量仪、微型可调光阑、可变焦透镜及微型超声波器件等）的设计、制备工艺、封装测试及其系统应用方面的研究工作，同时也开展新型光学仪器和光学检测技术方面的研究。近年在Applied Physics Letters、Optics Express、Optics Letters、Sensors and Actuators B、IEEE Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Journal of selected topic on quantum electronics及Journal of Micromechanics and Microengineering等相关领域的国际、国内核心期刊上发表论文80余篇，撰写书本章节并多次在相关领域国际会议上宣讲研究成果。作为核心成员申请和获授权国内、国际专利15项（8项中国专利、7项美国专利），其中两项专利成功获得商业转让，现正进行相关产品的开发。同时，他长期担任十余种国内、国际期刊的特邀审稿人，作为主要负责人成功获得国家自然科学基金资助，主持或参与多个研究项目，包括国家自然科学基金、新加坡教育部基金、新加坡国家研究基金、新加坡科技局项目。

唐瑞涛，浙江清华柔性电子技术研究院副研究员，博士毕业于中国科学技术大学。毕业后入职浙江清华柔性电子技术研究院，主要从事压电式薄膜压力传感器的研发工作，研究方向包括聚合物压电薄膜材料制备、压电薄膜极化工艺、薄膜传感器结构设计、性能表征测试方法及定量化理论。他主持设计完成的压电薄膜传感系统能够应对多种复杂应用场景，性能远超同类型的压电薄膜传感器。他主持参与多项国家重点研发计划、国家重点基础加强项目、国家自然科学基金重点项目以及浙江省自然科学基金等，在相关领域发表论文15篇，申请国家发明专利20余项，参与制定柔性电子器件可靠性标准2项。

欧阳俊，博士，齐鲁工业大学教授，“新能源材料化学与功能器件”科研团队负责人，教育部新世纪优秀人才，山东省“惠才卡”专家和省级领军人才。1999年在清华大学获得学士学位，师从清华大学陶瓷国家重点实验室主任潘伟教授；2005年在美国马里兰大学获得材料科学与工程博士学位（铁电/压电材料方向，师从美国工程院院士R. Ramesh教授和铁性畴理论专家Royburd教授）。2005年6月至2010年4月在美国希捷科技（Seagate Technology）任职，先后担任电子设计高级工程师和电子材料研发主管工程师。2010年4月至2019年12月在山东大学材料学院担任教授和博士生导师。目前，他还担任中国硅酸盐学会特种陶瓷分会理事和山东硅酸盐学会电子陶瓷专家委员会常务委员，Journal of Advanced Ceramics期刊编委。他曾担任中国真空科学与技术学报理事、山东省清华校友会副秘书长、第十二届先进陶瓷国际会议介电和铁电储能分会主席。

吴国强，多次获得麦姆斯咨询颁发的年度讲课老师称号，博士，武汉大学青年学术带头人、教授、博士生导师，主要从事MEMS谐振器和振荡器、压电声学MEMS传感器、MEMS惯性传感器的研究工作。他2013年从中科院上海微系统与信息技术研究所获得工学博士学位，曾担任中航工业自控所惯性MEMS传感器研发工程师，以及新加坡科技局微电子研究院研究员。作为独立项目负责人主持含国家自然科学基金、国家重点研发计划课题、企业资助技术开发等多项科研项目。近年来在JMEMS、IEEE EDL、IEEE TIE、IEEE TED等领域主流期刊上发表学术论文60余篇，申请国内专利40余项。

杜亦佳，博士，乌镇实验室研究员。2013年至2015年在中物院无线电物理博士后流动站进行博士后工作，与德国IHP联合开展MEMS微执行器研究；2015年至2021年，在中国工程物理研究院电子工程研究所微系统与太赫兹研究中心从事压电微执行器技术研究；2021年起，在乌镇实验室从事基于先进压电薄膜的MEMS器件研究。她先后主持与参与了各类国家项目、国家自然科学基金面上项目、青年基金、中国博士后科学基金等科研项目。近年来，她已经在国际权威期刊JACS、IEEE J MEMS、SENSOR ACTUAT A-PHYS、IEEE T NUCL SCI等发表了多篇学术论文。

张孟伦，工学博士，天津大学精密仪器与光电子工程学院助理教授、硕士生导师，英国剑桥大学访问学者。他专注MEMS领域研究十余年，研究领域覆盖各类声学MEMS器件，包括麦克风、扬声器、超声换能器及频率器件等。在压电MEMS方向以第一作者/通讯作者身份发表国际学术论文40余篇（JMEMS、Microsyst Nanoeng、TUFFC、JMM、EDL、APL、Small、PRA、B&B、ACS Sensors、ACS AMI、Analyst等），并将研究成果出版英文专著章节；在MEMS领域申请和授权国内外发明专利150余项。他多次受邀参加国际学术会议并作报告，近5年来先后赴9个国家和地区在多场MEMS领域会议上（IEEE MEMS、Transducers、Sensors、NEMS等）作报告；担任Nanotechnology and Precision Engineering等国际学术期刊编辑。

七、培训费用和报名方式咨询

请发送电子邮件至BISainan@MEMSConsulting.com，邮件题目格式为：报名+压电MEMS与传感器培训+单位简称+人数。

麦姆斯咨询
联系人：毕女士
电话：18921125675
E-mail：BISainan@MEMSConsulting.com