近些年，压电MEMS领域高度活跃，从材料体系到器件类型，越来越多元化，推动万物互联的人工智能应用。本课程邀请压电MEMS领域专家学者，为大家梳理压电材料及器件发展之路，讲授关键技术和研发经验。
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