惯性传感器是一类基于惯性及相关测量原理将物体运动量转换成电信号的装置,包括加速度计、陀螺仪及其组合式传感器。MEMS技术引领惯性传感器进入“小尺寸、低成本、高集成度、多功能、智能化”的新时代。
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MEMS技术日臻成熟,新型MEMS产品层出不穷。本课程从惯性MEMS、光学MEMS(气体传感器)、红外探测器(微测辐射热计)、生物MEMS(微流控)等技术,以及MEMS制造工艺及封装、MEMS可靠性分析进行深入讲解。
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MEMS运动传感器在消费电子、工业控制和监测、汽车、航空航天和国防军工等领域无处不在。本课程深入剖析运动传感器产业要求,以及MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、MEMS高度计、MEMS惯性传感器系统、ASIC等技术细节。
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《MEMS高级培训课程》系列课程已连续举办三年。该系列课程以经典MEMS器件为出发点,带领学员们研习MEMS器件的设计、制造、封测和应用等重要环节,同时辅以MEMS和传感器产业信息,帮助MEMS从业人员理清产业发展脉络。
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该系列课程以MEMS热门器件作为切入口,让学员在深入了解MEMS产业的基础上讲授器件(加速度计、陀螺仪、MEMS麦克风、压力传感器等)设计、制造、封测和应用,同时对MEMS产业重要环节(制造和封测)进行全面讲授。
为提升MEMS产业界相关人员的专业技术能力,并增强中国传感器创新能力,本次课程主要讲授MEMS成熟器件和前沿器件的设计、制造、封测和应用知识,同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解。
该课程主要讲授MEMS原理、MEMS关键技术(设计、仿真、制造、封装、测试、可靠性、失效分析等)、典型MEMS器件及应用(射频MEMS、红外传感器、惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、气体传感器等)、信号调理技术等。
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