2018年03月30日
第6期“见微知著”培训课程
MEMS制造工艺

MEMS制造工艺在微电子技术(半导体制造工艺)基础上发展起来,并衍生出许多MEMS特有的制造工艺。本课程深入讲解硅基MEMS(基础和特殊)制造工艺、非硅基MEMS制造工艺、特殊薄膜材料制造工艺和VCSEL的单步重要工艺。

关键词:MEMS制造, MEMS工艺, VCSEL

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2017年10月20日
第5期“见微知著”培训课程
MEMS高级进阶

为提升MEMS产业界相关人员的专业技术能力,并增强中国传感器创新能力,本次课程主要讲授MEMS成熟器件和前沿器件的设计、制造、封测和应用知识,同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解。

关键词:生物传感器, 惯性传感器, 电化学传感器, MEMS制造

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课程回顾
2017年06月30日
第4期“见微知著”培训课程
MEMS封装和测试

本课主要讲课传统及先进MEMS封装技术原理及应用、MEMS测试技术、典型MEMS封装和测试技术应用案例详细介绍(如声表面波(SAW)滤波器、气体传感器、光学MEMS、惯性传感器)、传感产品检验计量等。

关键词:MEMS封装, MEMS测试, SAW, 气体传感器, 惯性传感器

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2017年05月12日
第3期“见微知著”培训课程
MEMS封装和测试

本课程主要讲课传统及先进MEMS封装技术原理及应用、MEMS测试技术、典型MEMS封装和测试技术应用案例详细介绍(如加速度计、磁传感器、光学MEMS、压力传感器和MEMS麦克风)、传感产品检验计量等。

关键词:MEMS封装, MEMS测试

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2016年10月28日
第2期“见微知著”培训课程
MEMS高级进阶

该课程主要讲授MEMS原理、MEMS关键技术(设计、仿真、制造、封装、测试、可靠性、失效分析等)、典型MEMS器件及应用(射频MEMS、红外传感器、惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、气体传感器等)、信号调理技术等。

关键词:射频MEMS, 信号调理, 失效分析, MEMS制造

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