麦姆斯咨询 | 2021-03-26至2021-03-28 | 无锡新吴区(点此查看)

压电(Piezoelectricity),已经成为近几年并将继续成为未来多年MEMS产业发展的关键词!麦姆斯咨询从压电材料特性及性能表征、当前热门压电器件、未来的高潜力压电器件等多个角度,为广大学员带来丰富的培训课程。

主办单位:麦姆斯咨询

协办单位:上海传感信息科技有限公司、华强电子网


一、课程简介

压电(Piezoelectricity),已经成为近几年并将继续成为未来多年MEMS产业发展的关键词!2019年,在MEMS与传感器执行大会(MEMS & Sensors Executive Congress)上,MEMS设计与研发公司AMFitzgerald创始人Alissa Fitzgerald就基于世界顶级学术研究成果(650多篇论文)提出了对“商业上可行,能够解决问题,可以引起技术变革”的MEMS技术预测,“压电技术”则是其中重要一项!(相关新闻链接:《未来MEMS产业关键词:压电、事件驱动、自供电、柔性、微型代工厂》


1880年,居里兄弟发现在石英晶体的特定方向上施加压力或拉力会使石英晶体表面出现电荷,电荷密度与施加的外力大小成比例,这就是压电材料的正压电效应,从此便开启了压电学的历史。随后,1881年居里兄弟又通过实验验证了逆压电效应,并且获得了石英晶体的正逆压电系数。


压电材料的正压电效应(可用于传感器)和逆压电效应(可用于执行器)

压电材料的正压电效应(可用于传感器)和逆压电效应(可用于执行器)


按照应用形态,压电材料主要分为块体型和薄膜型两大类。前者通常指具有一定三维结构形式的石英晶体或陶瓷材料,问世时间相对较早,已经广泛地应用于各种电子产品。近些年,随着先进材料和MEMS技术的不断发展,以锆钛酸铅(PZT)和氮化铝(AlN)为代表的薄膜型压电材料的制备越来越成熟。薄膜型压电器件可利用MEMS代工厂,开发与CMOS兼容的量产工艺,从而改变传统压电器件“体积大、功耗高、批量生产能力低、价格贵”的形象,对消费类应用领域来讲极具吸引力!


医学超声波成像技术:块体型压电陶瓷 vs. MEMS(包括PMUT和CMUT)

医学超声波成像技术:块体型压电陶瓷 vs. MEMS(包括PMUT和CMUT)

(来源:飞利浦)


如今,压电和MEMS技术的融合发展,正在为全球MEMS产业带来一场革命。压电MEMS技术越来越多地应用于射频(RF)滤波器、超声波换能器、惯性传感器、MEMS扬声器和麦克风、喷墨打印头、自动对焦执行器、微镜和变形镜、能量收集器、微流控等MEMS产品。


受益于5G通信的迅速发展,射频滤波器在日常生活中的应用也将变得越来越重要,不仅仅是满足在智能手机发短信、拨打电话或下载电影等需求,展望未来,射频滤波器还将被安装于电动汽车和自动驾驶汽车。在如今的压电MEMS和传感器“全家福”照片上,射频滤波器稳居“C位”,瓜分压电MEMS和传感器市场规模约70%的份额。


不同类型的射频滤波器工作频率及应用领域

不同类型的射频滤波器工作频率及应用领域

(来源:Akoustis)


目前,超声波传感器主要由块体型压电换能器技术主导。而基于硅芯片的压电MEMS超声波换能器(PMUT)具有小型化、低成本和高集成度等优势,已经成为指纹识别、医疗成像、工业测距和3D成像等应用的新宠,将以惊人的速度成长——未来五年的市场规模复合年增长率(CAGR)高达280%,在所有压电薄膜器件中有望成为继射频滤波器之后的第二霸主。据麦姆斯咨询观察,医疗类、工业类和消费类厂商巨头都在布局PUMT。例如,TDK子公司Chirp在2019年就推出了全球首款基于PMUT的超声波飞行时间(ToF)传感器,实现超宽视场角和超低功耗,提供毫米级测距精度,可以集成于紧凑的消费类产品(如智能手机和可穿戴设备)。


基于PMUT的传感器示例

基于PMUT的传感器示例


为了助力中国MEMS和传感器从业人员积极拥抱“压电”黄金时代,麦姆斯咨询从2019年起每年都甄选市场热点与技术重点,精心打造以“压电MEMS和传感器”为主题的培训课程。2021年,麦姆斯咨询将从压电材料特性及性能表征、当前热门压电器件、未来的高潜力压电器件等多个角度,为广大学员带来一期丰富的培训课程。该课程涵盖以下内容:(1)压电材料综述,包括石英晶体、氮化铝、压电陶瓷和无铅压电陶瓷等;(2)压电MEMS超声波换能器(PMUT):面向医疗类、消费类和工业类应用;(3)压电声波器件、SAW传感器和SAW微流控;(4)压电加速度计;(5)压电喷墨打印头;(6)压电MEMS微镜和压电MEMS变形镜;(7)压电MEMS设计仿真;(8)压电薄膜制备工艺。


二、培训对象

本课程主要面向压电MEMS和传感器相关企业(包括设计公司、代工厂、封装和测试厂、模组及应用厂商、半导体设备及原材料供应商)的技术人员和管理人员、高校师生,同时也欢迎其他希望了解压电MEMS和传感器技术和应用的非技术背景人员参加,如销售和市场人员、投融资机构人员、政府管理人员等。


三、培训时间

2021年3月26日~28日,共计3天

授课结束后,为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。


四、培训地点

无锡市新吴区(具体地点以开课前一周的邮件通知为准)


五、课程内容

课程一:压电材料综述和压电声波器件

讲师:宁波大学 教授 王骥

压电器件最初主要基于石英或陶瓷等块体材料,但体积庞大、价格昂贵,还难以采用连续生产模式制造。随着压电薄膜材料沉积技术与MEMS/CMOS制造工艺的集成度越来越高,为薄膜型压电器件的“亲民”路线开辟了一条新路。虽然石英晶体已成为压电声波器件的成熟材料,但信息技术的发展提出了许多新要求,如何从设计方法、材料和加工技术等持续研发?如何进行产品创新?本课程将从压电材料的基础知识讲起,并阐述基于石英晶体的压电声波器件的研究进展。

课程大纲:
(1)压电效应、热释电效应和铁电效应;
(2)压电材料发展历程及代表应用;
(3)主要压电材料(如晶体、陶瓷、半导体)特性介绍;
(4)块体型压电材料 vs. 薄膜型压电材料;
(5)典型压电声波器件及应用领域;
(6)石英晶体的多种切型对石英晶体性能影响的理论依据;
(7)基于石英晶体的SAW和BAW滤波器制备及特性分析;
(8)基于高分子材料电极的石英晶体谐振器制备及特性分析。


课程二:压电加速度计

讲师:南昌航空大学 副教授 张巍巍

压电加速度计可以将物体加速运动引起的压电材料微小形变转化为电荷量,然后通过对电荷的收集检测来确定加速度值。压电加速度计输出信号经采用电子方法一次积分后可以提供速度信号,二次积分后可以提供位移信号。与压阻式或电容式加速度计相比,压电加速度计具有灵敏度高、动态范围宽且线性度好等优点,非常适合振动监测应用。本课程将深入讲解压电加速度计设计、制造、测试和性能评价,并分析其应用和市场前景。

课程大纲:
(1)加速度计工作原理和主要类型(压电式、压阻式、电容式、热式);
(2)压电加速度计技术进展;
(3)压电加速度计设计和制造实例;
(4)压电加速度计测试及性能评价方法;
(5)压电加速度计产业现状及主要供应商;
(6)压电加速度计应用领域和市场前景。


课程三:医疗类压电MEMS超声波换能器(PMUT)

讲师:中国科学院微电子研究所 正高级研究员 高航

近些年,MEMS超声波换能器,无论是压电MEMS超声波换能器(PMUT),还是电容MEMS超声波换能器(CMUT),都已经敲响了通往大众市场之门。随着2018年手持式超声波成像仪Butterfly iQ的发布,医疗类MEMS超声波换能器应用热潮掀起。MEMS技术使得更便宜且更小的超声波探头诞生,“B超检查”将实现平民化,全科医生甚至家庭都可以负担使用,从而在医疗领域掀起一阵革新之风!得益于压电薄膜制造工艺的成熟,压电MEMS超声波换能器技术已经准备就绪。本课程将重点分析医疗类PMUT核心技术及应用。

课程大纲:
(1)MEMS超声波换能器概念及分类(PMUT、CMUT);
(2)MEMS超声波换能器 vs. 块体型压电晶体超声波换能器;
(3)PMUT工作原理;
(4)PMUT典型产品:神经刺激与触觉模拟;
(5)面向医学成像应用的PMUT产业化现状及面临的问题;
(6)面向医学成像应用的PMUT设计和制造实例;
(7)面向医学成像应用的PMUT(在研和商业化)实例分析。


课程四:工业类及消费类压电MEMS超声波换能器(PMUT)

讲师:中国工程物理研究院 副研究员 刘利芳

在消费电子领域,基于PMUT的超声波指纹传感器可以实现显示屏下感知与识别,从而促进全面屏智能手机的出现,另外2020年高通和京东方合作开发集成3D Sonic超声波指纹传感器的创新显示产品;在工业领域,PMUT无需对探测物体造成任何损伤,即可通过距离测量和成像实现对焊接件、铸造件、腐蚀缺陷的检查。PZT和AlN压电薄膜沉积技术为其带来小型化和低成本的曙光!本课程将重点分析工业类和消费类PMUT核心技术及应用。

课程大纲:
(1)压电MEMS超声波换能器(PMUT)设计的基本原理;
(2)PMUT建模及仿真(压电薄膜厚度优化);
(3)PZT PMUT vs. AlN PMUT;
(4)基于SOI硅片的PZT PMUT制造工艺;
(5)典型的超声波成像算法和超声波测距算法;
(6)PMUT测试及性能评价方法;
(7)基于PMUT的检测和成像应用:无损检测、指纹成像、手势成像。


课程五:SAW传感器和SAW微流控

讲师:SAW技术学者 周剑

SAW器件的声波传播能量主要集中在固体表面,当固体表面受到外界的刺激(力、电、磁、热)时,声波波速变化,导致谐振频率变化,通过探测频率偏移,实现对外界参量(如温度、粘度、气体浓度、曲度)的探测。而通过在一次性芯片表面上图案化的微结构来控制表面声波与微流体之间的相互作用,以随频率变化的特定方式来形成声波,在许多生物和医疗应用中具有巨大的前景。本课程将为学员们讲解SAW传感器和SAW微流控的技术和应用!

课程大纲:
(1)SAW基本概念;
(2)SAW传感器原理和无线无源监测;
(3)SAW传感器的制备和封装工艺;
(4)SAW传感器产业现状和主要厂商;
(6)SAW微流控基本原理;
(7)SAW片上微流控应用:声线、粒子集聚、微崩、药物雾化等;
(8)SAW微流控产业现状。


课程六:压电MEMS微镜和压电MEMS变形镜

讲师:华中科技大学 教授 余洪斌

在不同驱动技术MEMS微镜中,压电驱动似乎是目前研发和商业化进展最慢的一种技术,但这并不能否定压电MEMS微镜的市场前景。随着压电薄膜技术的成熟,3D传感和成像市场空间的进一步释放,压电MEMS微镜的未来值得期待。压电MEMS变形镜是自适应光学系统的关键元件,对波前像差的拟合能力决定了自适应光学系统的校正性能。在本课程中,讲师将分享基于AIN的MEMS微镜和MEMS变形镜的技术及未来发展展望。

课程大纲:
(1)MEMS微镜的基本概念及不同驱动技术(压电驱动、静电驱动、电磁驱动、电热驱动)特性分析;
(2)压电MEMS微镜技术发展现状及其面临的问题和解决方案;
(3)压电MEMS微镜器件设计和制造实例;
(4)自适应光学的基本概念和工作原理;
(5)压电MEMS变形镜技术发展现状及其面临的问题和解决方案;
(6)压电MEMS变形镜器件设计实例。


课程七:压电喷墨打印头

讲师:上海新微技术研发中心有限公司 副总经理 关一民

喷墨打印技术最初局限于商业打印领域,现在已快速扩展到微电子、生物制药、细胞打印等多项新兴领域。相比大量用于办公打印的热发泡式喷墨打印技术,压电喷墨打印技术凭借在恶劣环境中更好的适应性和更长的寿命,在工业打印领域得以广泛应用。此外,压电喷墨打印头可支持更多的油墨选项,例如水性、溶剂型和紫外固化型等。本课程主要介绍喷墨打印技术的发展历史和产业现状,并重点讲解PZT压电喷墨打印头的原理、设计和制造等关键技术。

课程大纲:
(1)喷墨打印技术原理及发展历史;
(2)喷墨打印头产业现状和主要厂商;
(3)热发泡式喷墨打印头 vs. 压电式喷墨打印头;
(4)PZT压电喷墨打印头设计和制造的关键技术和解决方案;
(5)PZT压电喷墨打印头应用领域和市场前景;
(6)基于喷墨打印头的智能化微流控技术。


课程八:PZT压电薄膜制备工艺

讲师:爱发科(苏州)技术研究开发有限公司 研究员 岳磊

压电薄膜沉积技术是实现压电器件从概念到产品的重要环节。目前应用最广泛的压电薄膜材料是氮化铝(AlN)和锆钛酸铅(PZT)。使用PZT压电薄膜的MEMS器件在硅衬底上形成以下五层:黏附层、下电极层、缓冲层、压电(PZT)层和上电极层。上述薄膜层在单晶圆溅射系统中形成,才能保证硅衬底不暴露在大气中,从而实现高产量和高可靠性。ULVAC(爱发科)作为PZT薄膜设备厂商,已积累了丰富的产业经验。在本课程中,讲师将为学员分享PZT薄膜制备关键技术及产业界合作案例。

课程大纲:
(1)PZT压电薄膜材料特性分析;
(2)PZT压电薄膜制备方法:溶胶凝胶法 vs. 溅射法;
(3)溅射法压电薄膜工艺设备及参数控制、常见问题和解决方案;
(4)CMOS兼容的PZT压电薄膜溅射技术;
(5)基于PZT压电薄膜的典型器件(如超声波换能器、喷墨打印头、麦克风、扬声器等)制造工艺流程;
(6)爱发科、意法半导体、A*STAR联合打造“Lab-in-Fab”。


课程九:压电MEMS超声波换能器一站式解决方案

讲师:江苏英特神斯科技有限公司 总经理 徐波

英特神斯研发的IntelliSuite软件能够进行微结构的三维建模、版图设计、工艺过程模拟、干法湿法刻蚀模拟、原子级别腐蚀模拟,利用有限元、边界元等方法对微结构进行多物理量(场)耦合分析,以及MEMS-IC的系统级分析仿真。此外,英特神斯还建设了一条6英寸MEMS产线,已经完成多款压电MEMS超声波换能器的流片。本课程将以PMUT为例,从PMUT的设计、仿真到制造、应用等维度,讲解英特神斯如何实现一站式解决方案。

课程大纲:
(1)MEMS设计软件IntelliSuite介绍(器件级、工艺级、系统级)及建模工具;
(2)高性能MEMS器件可制造性设计技术;
(3)MEMS-IC兼容的设计与仿真方法;
(4)英特神斯6英寸压电MEMS制造平台及器件定制方案;
(5)压电MEMS超声波换能器(PMUT)设计及仿真方法:从低频(20kHz)到高频(10MHz);
(6)PMUT在水声成像、管道压力和流速(流量)监测等领域应用。


课程十:无铅压电陶瓷及MEMS应用

讲师:清华大学 教授 李敬锋

压电材料可以实现电能与机械能的相互转换,在传感器、执行器、能量收集器等领域具有非常广泛的应用。传统铅基压电材料因性能优异而占据了大部分的市场份额,但这些材料中含有大量对环境和人体有毒有害的重金属铅元素,因而无铅压电材料研究备受关注。虽然近十多年来无铅压电陶瓷研究取得显著进展,但是如何进一步在提高其压电性能的同时改善其性能温度稳定性一直是阻碍无铅压电陶瓷实用化的难题。本课程讲师深耕压电材料领域,为无铅压电陶瓷研究及MEMS应用起到重要推动作用。

课程大纲:
(1)无铅压电陶瓷材料体系;
(2)无铅压电陶瓷性能改善及表征;
(3)具有局部不均匀结构的高性能无铅压电陶瓷;
(4)面向MEMS应用的无铅压电陶瓷微加工技术;
(5)基于无铅压电陶瓷薄膜的MEMS器件:传感器、执行器、能量收集器;
(6)压电复合材料及应用展望。


六、师资介绍

王骥,博士,1996年获普林斯顿大学土木系博士学位。他担任宁波大学钱江学者特聘教授、中国力学学会电子电磁器件力学专业工作组的创建组长、国际电工委员会(IEC)技术委员会专家、宁波市压电器件技术重点实验室创建主任、国际期刊Structural Longevity主编,长期从事压电声波器件结构的设计和分析理论的研究,并主持国家自然科学基金重点项目、浙江省重大科技攻关项目、浙江省重点科技创新团队和宁波市“中国制造2025”等多个科技项目。他主持的石英晶体研究项目在日本精工爱普生(Seiko Epson)公司获得公司科研二等奖,在石英晶体谐振器相关的研究工作有多项美国专利和中国发明专利。


张巍巍,博士,现担任南昌航空大学副教授。2001年博士毕业于中国科学技术大学凝聚态物理专业;2001-2002年于法国CNRS的LPCML实验室从事脉冲激光溅射荧光活性光波导研究;2002-2008年先后供职于富创光电(深圳)有限公司和美捷特(厦门)传感器件有限公司从事光无源器件、压电/压阻传感器的产品与工艺研发;2009年于高校就职开展荧光式传感技术研究,同时主持了慧石(上海)测控科技有限公司的压电加速度传感器研发。他主持省部级及国家级课题8项,以第一发明人获授权发明专利13项,一作发表论文20余篇,获批江西省杰青课题、江西省学术与技术带头人,获江西省自然科学一等奖一次。他担任江西省物理学会理事、上海市振动工程学会理事,还担任高新企业评选专家、国家自然科学基金评审专家、中国技术市场协会第一批科技成果评价专家、科技部人才入库专家等。


高航,博士,现任中国科学院微电子所正高级研究员,获中科院B类引才项目支持。博士毕业于比利时荷兰语鲁汶大学,曾任欧洲微电子研究院(IMEC)微传感器事业部高级研究员。她曾主持比利时国家重大青年项目;作为负责人或核心成员,她先后参与完成17项H2020地平线计划等欧盟超重大科研项目和企业双/多边联合项目,项目总经费达7516万欧元;开发了世界首款用于超声成像的MEMS可穿戴设备样机和世界首个可产生隔空触感的MEMS器件原型机,创业竞赛项目孵化了欧洲Pulsify Medical创业公司(一轮融资达260万欧元)。共发表论文50余篇,单篇一作文章最高引用121次,引用合计820余次。研究成果曾获得欧洲心脏协会青年科学家奖提名、IEEE封装协会优秀论文奖、比利时国家优秀博士后基金和中国留学基金委颁发的优秀海外自费留学生奖。


刘利芳,博士,毕业于清华大学,目前为中物院电子工程研究所微系统技术研究室微纳传感器与执行器团队的子方向负责人、副研究员,主要从事固态传感与探测、系统监测技术与半导体器件与芯片设计方面的研究工作。她发表SCI论文及国际会议二十余篇,已授权专利7项。她所在研究团队以压电MEMS器件设计与制备为核心,围绕其应用开展了模块集成、长期稳定性提升等研究工作,构建出MEMS器件的特色研究链条,在超声波传感器件设计、封装设计及系统设计方面积累了丰富的研究经验。


周剑麦姆斯咨询“2020年度优秀讲师”,博士,毕业于浙江大学,曾是英国爱丁堡大学、西苏格兰大学的访问学者。他长期从SAW传感器和微流控研究,在SAW传感器和微流控基础材料加工、芯片设计、Comsol仿真、传感和微流控测试等方面积累了丰富的经验。他承担和完成了国家自然科学基金青年基金,国防科技大学预先研究基金等多项项目,参与国家自然科学基金面上项目,装备预研项目、军委科技委项目超千万元。在Nature旗下Scientific Reports、Applied Physics Letters、JMC、IEEE Electron Device Letters、Journal of Applied Physics、Thin Solid Films等发表了SCI/EI论文40余篇,被引用次数450次,申请发明专利6项。他还曾获校教学个人三等奖一项、校教学比赛三等奖一项。


余洪斌麦姆斯咨询“2019年度最受欢迎讲师”、“2020年度杰出讲师”,博士,华中科技大学教授(楚天学者特聘教授)。他2005年毕业于华中科技大学获光学工程博士学位,随后赴新加坡国立大学从事微电子(光电子)机械系统(MEMS/MOEMS)技术领域的研究工作,历任研究员和高级研究员。他曾为新加坡科技局微电子研究院研究员、项目负责人(PI),同时担任新加坡国立大学机械工程系客座助理教授。他一直从事基于MEMS/MOEMS技术新型功能器件(诸如微型扫描仪、微型光谱仪、微型摩擦测量仪、微型可调光阑、可变焦透镜及微型超声波器件等)的设计、制备工艺、封装测试及其系统应用方面的研究工作,同时也开展新型光学仪器和光学检测技术方面的研究。近年在Applied Physics Letters、Optics Express、Optics Letters、Sensors and Actuators B、IEEE Journal of Microelectromechanical Systems、IEEE Journal of selected topic on quantum electronics及Journal of Micromechanics and Microengineering等相关领域的国际、国内核心期刊上发表论文80余篇,撰写书本章节并多次在相关领域国际会议上宣讲研究成果。作为核心成员申请和获授权国内、国际专利15项(8项中国专利、7项美国专利),其中两项专利成功获得商业转让,现正进行相关产品的开发。同时,他长期担任十余种国内、国际期刊的特邀审稿人,作为主要负责人成功获得国家自然科学基金资助,主持或参与多个研究项目,包括国家自然科学基金、新加坡教育部基金、新加坡国家研究基金、新加坡科技局项目。


关一民,博士,1998年在美国奥本大学获材料工程博士学位,拥有20多年的半导体芯片研发和制备经验。近18年在世界500强打印公司领导微滴喷射打印头芯片和微流控MEMS器件的设计、制造和市场开发工作,历任资深设计工程师、打印芯片首席工程师和研发部经理,具有丰富的专业和管理经验。已申请的103项美国专利,已获授权60多项,曾获中科院科技进步一等奖。他还担任核高基专项首席课题负责人、上海大学微电子学院教授。他开发的产品在生物3D打印、器官芯片、即时诊断(POCT)及液体活检等领域有着广泛的应用,并孵化成立上海傲睿科技有限公司。目前他的团队正在开发的产品包括用于药物筛选的3D生物打印和即时诊断的微流体组件以及增材制造的宽幅打印头阵列。


岳磊麦姆斯咨询“2019年度优秀讲师”、“2020年度优秀讲师”,硕士,爱发科(苏州)技术研究开发有限公司研究员。他硕士毕业于日本东京大学,研究方向为超临界水热合成复合金属氧化物微粒子的生成机理。2016年5月加入ULVAC(爱发科)集团,他主要从事MEMS相关功能材料的溅射工艺开发。目前为ULVAC集团MEMS开发团队核心成员,并在ULVAC与国内某顶尖科研机构共同开发项目中担任课题开发负责人。工作期间,他参与开发了新型PZT薄膜制备工艺开发,并在与客户的共同开发中主导优化了ULVAC现行VOx以及AlN工艺,提升了工艺可靠性以及薄膜性能。


徐波,南京大学物理系无线电物理专业毕业,中国微米纳米技术学会理,中国光学学会红外与光电器件专业委员会委员,江苏省新型感知器件产业技术创新联盟副理事长,南京大学、东南大学研究生兼职导师,南京工业大学兼职教授,国家科学技术奖励专家库专家,科技部、江苏省科技项目评审咨询专家。他主持了国家“863”计划项目《高端MEMS器件可制造性设计技术及应用》(2015AA04604)、“863”计划项目课题《典型MEMS IP库实用化研究》(2005AA404030),国家重点研发计划项目《具有器件级、工艺级、系统级设计功能的微纳传感器综合设计工具开发》(2018YFB2002603)、科技部企业技术创新基金项目、江苏省重大科技成果转化项目《MEMS多物理场耦合分析设计平台及应用产品开发与产业化》、江苏省软件产业发展专项《MEMS集成设计仿真软件》、江苏省集成电路专项项目《微纳机电系统设计软件(兼容集成电路设计软件)》。2013年获得教育部技术发明二等奖,中国电子学会技术发明二等奖,2019年度获得国家科技进步二等奖。


李敬锋,博士,清华大学材料学院教授、博士生导师,教育部长江学者特聘教授,国家杰出青年基金获得者,研究领域包括压电陶瓷与器件、热电材料与器件、MEMS材料技术、陶瓷复合材料及其力学性能。1984年毕业于华中科技大学,1991年获日本东北大学博士学位。他还担任清华大学-丰田研究中心副主任、新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室学术委员会副主任、Journal of Materiomics主编、《硅酸盐学报》副主编、中国材料研究学会热电材料与应用分会主任、中国硅酸盐学会微纳技术分会副理事长、中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会副理事长,并当选美国陶瓷学会Fellow、国际热电学会理事、烧结科学国际学会Full Member。


七、培训费用和报名方式咨询

请发送电子邮件至GUOLei@MEMSConsulting.com,邮件题目格式为:报名+压电MEMS与传感器培训+单位名称+人数。

麦姆斯咨询

联系人:郭蕾
电话:13914101112
E-mail:GUOLei@MEMSConsulting.com


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第38期“见微知著”培训课程:VCSEL技术及应用

从数据通信到智能手机,从扫地机器人到自动驾驶汽车,VCSEL应用不断“开疆拓土”,未来发展前景可期。在本次培训中,麦姆斯咨询邀请在VCSEL产业中拥有丰富实践经验的企业家及科研学者,为大家传授VCSEL知识及技术经验。


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