麦姆斯咨询 | 2021-11-05至2021-11-07 | 线上直播课程

气体传感器是保障人类健康与安全的重要感知技术,未来在汽车与消费电子的“双轮”驱动之下,将保持快速发展的势头。为此,麦姆斯咨询精心策划了气体传感与检测技术课程。

主办单位:麦姆斯咨询

协办单位:上海传感信息科技有限公司、华强电子网


MEMS和传感器产业的朋友们,近期国内疫情又开始反弹,进而影响很多线下活动的举办。11月5日-7日即将开始的“气体传感与检测技术”培训课程同样受到了影响。为了保障大家安全,并让疫情不影响学习,我们特地将线下培训转为线上培训(并可以与老师交流、答疑),在深秋寒冬之际送上暖暖的知识盛宴。


一、课程简介

空气质量是关系到人类健康的一项重大全球性问题。世界许多地方的空气污染程度依然很重。根据世界卫生组织2018年提供的数据显示,全球每10人中就有9人呼吸含有高浓度污染物的空气,每年因环境(室外)和室内空气污染造成的死亡数达到惊人的700万人。世界卫生组织认识到空气污染是非传染性疾病的一个重要危险因素,估计它占到成人因心脏病死亡总数的24%、中风的25%、慢性阻塞性肺病的43%,以及肺癌的29%。空气污染不仅威胁人类的基本福祉,还会损害自然和有形资本,抑制经济增长。空气污染没有边界,改善空气质量要求各国政府持续采取协调一致的行动,共同努力寻求可持续交通、更高效和可再生能源的生产和使用以及废物管理的解决方案。


典型的气体污染物含量

典型的气体污染物含量


除了传统的环境空气污染,新型冠状病毒肺炎(COVID-19)大流行也提升了人们对室内空气监测的需求。研究表明,通过对新冠肺炎患者呼出气体及环境空气中病毒检测,证实了新冠病毒可通过呼吸排放,揭示了气溶胶传播扩散新冠病毒的事实。因此,这促使对封闭空间(例如教室、办公室和公共场所)的环境监测和管控,从而可以更好地阻断新冠病毒的空气传播。


目前,汽车动力总成、工业过程及环境监测、供暖通风与空气调节(HVAC)仍然占据气体传感器市场主要份额(约为80%)。但是,受益于人们对空气质量的要求提升和新冠肺炎带来的健康产品需求增加,气体传感器越来越多地应用于智能家居产品(例如空气净化器)、可穿戴设备及物联网智能设备,使得消费者很容易借此监测室内外环境状况,有效保护自身健康。此外,针对汽车座舱的舒适性和安全性,气体传感解决方案也在不断开拓市场,例如广汽蔚来HYCAN 007车内空气质量传感器能够实时探测道路上空气中的一氧化碳、碳氢化合物、氮氧化合物等污染物浓度,进而自动控制空调内/外循环风门的开启与关闭。在上述应用的推动之下,气体传感器市场未来五年预计保持10%以上的复合年增长率(CAGR),有望在2030年超过38亿美元。


新兴的气体传感器应用示例

新兴的气体传感器应用示例


2020年~2030年气体传感器市场发展情况(按照应用细分)

2020年~2030年气体传感器市场发展情况(按照应用细分)

(来源:《环境气体传感器技术及市场趋势-2020版》


气体传感器的检测原理和技术类型纷繁复杂,涉及电化学(Electrochemical)、非色散红外(NDIR)、金属氧化物半导体(MOS)、催化燃烧(Catalytic/Pellistor)、光离子化(Photoionization)、气相色谱(Gas Chromatography)、光声光谱(PAS)、傅立叶变换红外(FTIR)、化学发光(Chemiluminescence)等。微机电系统(MEMS)技术为气体传感器的小型化打开了大门,也扩展了气体传感器的消费类应用,使得气体传感与检测技术在人类日常生活中快速普及。例如,瑞萨(Renesas)基于MEMS金属氧化物(MOx)技术推出:(1)室内空气质量传感器ZMOD4410,可检测总挥发性有机化合物(TVOC)和估算的二氧化碳水平(eCO2);(2)室外空气质量传感器ZMOD4510,可检测二氧化氮(NO2)和臭氧(O3);(3)应用于智能冰箱的气体传感器ZMOD4450,可检测与食品成熟或腐烂相关的气体。


常见的气体传感器类型(检测原理)

常见的气体传感器类型(检测原理)


传统气体传感器(上) vs. 微型气体传感器(下)

传统气体传感器(上) vs. 微型气体传感器(下)


气体传感器正朝着小型化、低功耗、固态化、多功能化、智能化等方向发展。近些年,多家领先的半导体厂商通过收购或重组方式加强气体传感器技术实力,例如,盛思锐(Sensirion)收购基于MEMS气相色谱技术的微型气体分析仪厂商Qmicro;瑞萨(Renesas)收购美国模拟芯片大厂IDT,以提升传感器领域优势;ams(艾迈斯半导体)与智路资本重新组合资源成立睿感(ScioSense),主打环境及气体检测、流量和气压传感等领域。此外,还有一些MEMS厂商通过内部研发方式推出气体传感器创新产品,例如,英飞凌(Infineon)凭借创新的光声光谱(PAS)技术和MEMS麦克风进军气体传感器市场,实现精确、实时地二氧化碳(CO2)监测;TDK InvenSense结合新材料、MEMS和人工智能,发布突破性的微型化超低功耗MEMS气体传感器平台。最后,随着模式识别与人工智能的进步,模拟人类感官功能的电子鼻也日臻成熟,逐步从工业应用场景转向消费电子领域,Aryballe、AlphaMOS、慧闻科技等厂商陆续发布多款电子鼻产品。


电子鼻产品示例

电子鼻产品示例


气体传感器是保障人类健康与安全的重要感知技术,未来在汽车与消费电子的“双轮”驱动之下,将保持快速发展的势头。为此,麦姆斯咨询精心策划了本期课程。课程内容包括:(1)气体传感器与人工嗅觉;(2)电化学气体传感器和光离子化(PID)气体传感器;(3)空气污染物敏感材料及谐振式气体传感器;(4)量子点气体传感器与集成技术;(5)MEMS MOx气体传感器及其阵列;(6)MEMS气相色谱分析传感技术;(7)微型红外气体传感器;(8)微型集成式气体传感器;(9)电化学气体传感器及人体呼气分析。


二、培训对象

本课程主要面向气体传感器产业链上下游(材料和设备、设计、制造、封测、系统集成)厂商的技术人员和管理人员、高校师生,同时也欢迎其他希望了解气体传感器的非技术背景人员参加,如销售和市场人员、投融资机构人员、政府管理人员等。


三、培训时间

2021年11月5日~7日

授课结束后,为学员颁发麦姆斯咨询的结业证书。


四、培训方式

线上直播课程和答疑


五、课程内容

课程一:气体传感器与人工嗅觉

老师:苏州大学 教授/苏州慧闻纳米科技有限公司 董事长 孙旭辉

嗅觉是人类五种基础感知之一,作为人工嗅觉的核心元件——气体传感器能感知环境中气氛的种类与浓度,在环境监测、公共安全、医疗卫生、食品安全和军事航天等领域中有广阔的应用前景。随着MEMS与人工智能(AI)技术的发展,利用气体传感器阵列(模拟生物嗅觉中的嗅觉感受器)与AI算法(模拟生物嗅觉中的嗅觉神经系统)构建的人工嗅觉在更多的领域中发挥重要作用,实现气体传感器从“功能实现”到“性能提升”到“智能识别”的发展路线。本课程为学员们详细阐述气体传感器核心技术,以及人工嗅觉开发及应用。

课程提纲:
1. 气体传感器技术综述;
2. 气体传感器敏感材料合成与制备;
3. 低功耗、高集成度气体传感器;
4. 气体传感器测试和校准技术;
5. 人工嗅觉系统开发及评价;
6. 人工嗅觉产业化前景及典型应用。


课程二:电化学气体传感器和光离子化(PID)气体传感器

老师:苏州诺联芯电子科技有限公司 总经理 郭安波

电化学气体传感器是将测量对象气体在电极处氧化或还原形成电流,通过检测电流的大小即可确定气体浓度,具有响应准确度高、一致性好的优点,但其寿命较短。光离子化气体传感器利用紫外光光子较高的能量将气体物质电离,然后测量物质电离后所产生的微弱电流,从而计算出空气中被电离气体的总量,具有灵敏度高、精度高、响应快的优点,但其价格较贵。本课程详解上述两种气体传感器特点及应用,以及产业化方面问题及解决方法。

课程提纲:
1. 电化学气体传感器概念及优缺点;
2. 电化学气体传感器产业化难点及解决方法;
3. 电化学气体传感器典型应用案例解析;
4. 电化学气体传感器产业格局及主要供应商;
5. 光离子化气体传感器概念及优缺点;
6. 光离子化气体传感器产业化难点及解决方法;
7. 光离子化气体传感器典型应用案例解析;
8. 光离子化气体传感器产业格局及主要供应商。


课程三:空气污染物敏感材料及谐振式气体传感器

老师:上海大学 教授 徐甲强

气体敏感过程为气体分子与敏感材料表面进行的物理化学反应。目前在气体传感器研究中,由于敏感材料的特性决定了其主要性能,因此敏感材料的研究是气体传感器的主要研究方向,也是本领域国内外研究的热点方向,主要目标是开发低工作温度、高敏感度、高选择性纳米气敏材料。谐振式MEMS气体传感器主要是在微悬臂梁上涂敷敏感材料,当气体吸附在敏感膜上时,会改变该微悬臂梁的振动频率,通过检测该频率的变化即可换算出气体的浓度。本课程从空气污染物及其敏感材料出发,重点讲解谐振式气体传感器技术及应用。

课程提纲:
1. 空气污染物现状及其健康风险;
2. 面向甲醛和苯系物的气体传感器;
3. 谐振式气体传感器工作原理及分类;
4. 谐振式气体传感器技术发展及未来展望;
5. 谐振式气体传感器典型应用。


课程四:量子点气体传感器与集成技术

老师:华中科技大学 教授 刘欢

胶体量子点是通过湿化学合成法制备并稳定分散在有机或无机溶剂中的半导体纳米晶粒。由于晶粒尺寸通常在10纳米以下,不仅比表面积大、表面活性高,而且由于晶粒尺寸达到与德拜长度相比拟的范畴而出现晶粒尺寸效应,因而蕴含着极高的气敏效应。调节其点缺陷组成和电子能级结构以及表面配体修饰,可以实现对量子点迁移率、表面活性、气敏选择性的调控,解决传统金属氧化物半导体气敏选择性不佳的缺点。本课程详解量子点气体传感器技术及应用,以及新型电子鼻与人工嗅觉芯片。

课程提纲:
1. 低功耗气体传感器技术综述;
2. 胶体量子点室温气体传感器;
3. 新型电子鼻与人工嗅觉芯片;
4. 面向红外气体传感的量子点技术;
5. 量子点气体传感器典型应用。


课程五:MEMS MOx气体传感器及其阵列

老师:中国科学技术大学 特任研究员/合肥微纳传感技术有限公司 总经理 许磊

气敏材料是气体传感器的核心和研究热点。金属氧化物半导体材料是最早被运用于气体传感器敏感材料之一。目前商用金属氧化物半导体传感器材料大多以氧化锡(SnO2)为主体材料。此外,氧化锌(ZnO)、氧化钨(WO3)、氧化铟(In2O3)、氧化铜(CuO)、氧化镍(NiO)、氧化铁(Fe2O3)等金属氧化物也由于各自的特性被用于气敏材料。本课程主要讲解MEMS MOx气体传感器概念、发展历程、关键技术、测试与表征,以及产业现状。

课程提纲:
1. MEMS MOx气体传感器概念及发展历程;
2. MEMS MOx气体传感器关键技术;
3. MEMS MOx气体传感器检测电路;
4. MEMS MOx气体传感器阵列及其检测芯片;
5. MEMS MOx气体传感器测试系统及性能表征;
6. MEMS MOx气体传感器产业现状及主要厂商;
7. 前景展望:人工智能+气体检测。


课程六:MEMS气相色谱分析传感技术

老师:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 研究员 冯飞

气相色谱仪是一种应用十分广泛的复杂气体分析仪器,MEMS技术的发展为气相色谱仪的微型化开辟了崭新的道路,可实现气相色谱核心部件的芯片化,极大地降低气相色谱系统的体积、重量和功耗,使得气相色谱仪的微小型化成为可能,从而满足当前快速增长的实时、在线、快速检测的需要。本课程讲解MEMS气相色谱分析传感技术、气相色谱仪核心部件的芯片化及集成技术,此外还介绍MEMS气相色谱仪的国内外产业化情况及技术发展趋势。

课程提纲:
1. 气相色谱概念及发展历程;
2. MEMS色谱柱芯片;
3. MEMS检测器芯片;
4. MEMS分离检测集成芯片;
5. MEMS气相色谱仪产业化进展及典型应用。


课程七:微型红外气体传感器

老师:有研科技集团有限公司 主任研究员 明安杰

红外气体传感器是一种基于不同气体分子的红外光谱选择吸收特性,利用气体浓度与吸收强度关系来检测气体组分并确定其浓度的气体传感装置。该类型的传感器不需要与待测气体直接接触,且具有可靠性高、选择性好、精度高等优点。此外,红外气体传感器借助MEMS技术实现了小型化,将整体尺寸缩小到厘米甚至毫米尺度。本课程讲解红外气体传感器关键技术及发展趋势。

课程提纲:
1. 气体传感器产业及市场状况;
2. 红外气体传感器工作原理及关键技术;
3. 微小型红外气体传感器及关键核心部件;
4. 单片集成式微型红外气体传感器研究发展现状;
5. 微小型红外气体传感器典型应用案例分享。


课程八:微型集成式气体传感器

老师:苏州甫一电子科技有限公司 董事长 刘瑞

气体传感器的微型化和集成化需要充分利用MEMS与CMOS技术,例如:(1)基于MEMS工艺开发的硅基微加热板正逐步取代陶瓷板;(2)将多个传感器集成为芯片级阵列,并融合数据处理等模块。微型集成式气体传感器适合集成于移动终端,可用于室内外污染气体的监测、香水香味检测、食物变质与假冒伪劣检测、口气检测等。本课程阐述气体传感器发展方向和核心技术,并以甲烷、氧气和VOC三类气体传感器为例讲解设计与制造技术。

课程提纲:
1. 气体传感器的微型化和集成化发展之路;
2. 微型集成式气体传感器核心技术:低应力多层复合膜集成技术、纳米气敏材料制备与涂覆技术、多种材料叠层印刷技术;
3. 甲烷气体传感器设计、制造及封测;
4. 氧气传感器的设计与制造技术;
5. MEMS-VOC气体传感器设计与制造;
6. 气体传感器的发展趋势。


课程九:电化学气体传感器及人体呼气分析

老师:上海交通大学 特别研究员 金涵

目前,在医学中已经有数据证明人体呼出气与自身疾病之间有一定关联性,例如糖尿病患者的呼出气中丙酮含量较高,采用嗅觉感知器件可以更精确地识别目标气体,提供可靠的医学判据。一方面可以作为居家检测方式,进行长期健康状况的监测,一方面也可以作为医院中一些疾病的无创初筛检测。本课程剖析全固态电化学气体传感器关键技术,介绍人体呼气分析技术及其医疗应用。

课程提纲:
1. 电化学气体传感器技术综述;
2. 全固态电化学气体传感器关键技术;
3. 电化学气体传感器温度补偿及校准;
4. 基于人体呼气分析的健康预警技术;
5. 面向早期诊断肿瘤疾病的可穿戴传感器。


六、师资介绍

孙旭辉,苏州大学纳米科学与技术学院教授、博士生导师。他拥有清华大学理学学士、硕士学位,香港城市大学材料学博士学位,加拿大西安大略大学博士后,曾就职于美国国家宇航局(NASA)Ames研究中心纳米技术中心、NASA Ames研究中心先进研究实验室研究员及美国圣塔克拉拉大学兼职助理教授。他一直致力于纳米半导体材料和纳米功能器件及其在电子信息、光电、传感器芯片及新能源方面的应用研究,在SCI收录国际期刊上发表论文200余篇,他引7500余次,H-index 48。孙教授撰写英文书(章节)5章,获得美国专利3项,PCT专利2项,申请中国专利80余项,已授权40余项,担任国际杂志IEEE Transaction on Nanotechnology副主编、Frontiers in Materials编委会委员,他还是国际电子电工学会高级会员、国际材料学会、国际X射线吸收谱学会会员,以及国家同步辐射实验室用户委员会副主任、上海光源用户委员会委员、国家纳米标准委员会苏州工作组副组长。2010年入选“苏州市紧缺人才计划”,2011年入选江苏省“333”人才工程计划,2012年入选苏州工业园区科技领军人才,承担国家重大研究计划课题负责人2项,国家基金委联合基金重点项目、重大研究计划培育项目、面上项目负责人等多项,还参与了国家863重大项目、国家02专项等。他于2014年创立苏州慧闻纳米科技有限公司,担任公司董事长兼首席科学家,公司专注于先进智能传感器芯片的研发生产,并已建成年产1000万颗传感芯片的生产线。


郭安波,苏州诺联芯电子科技有限公司创始人、董事长兼总经理,高级工程师,获得苏州工业园区2016年第十届科技领军人才奖。他曾在宝钢股份有限公司、华瑞科学仪器(上海)有限公司、霍尼韦尔集团英国城市技术公司从事技术研发、市场销售等工作。在华瑞科学仪器工作期间,他带领团队于2008年研发出中国首款通过国标GB15322.1的固定式NDIR甲烷变送器;于2008年研发出国内第一台应用于重庆地下管网CH4监测的分体式监测设备;于2009年研发出国内第一台符合AQ6211的矿用NDIR甲烷变送器;于2011年研发出全中国第一款直径20mm的微型、智能NDIR甲烷和二氧化碳传感器。在霍尼韦尔工作期间,他担任亚太区气体传感器技术销售经理,帮助公司在4年间将亚太区销售额从1000万美元提升至1700万美元。他目前拥有发明专利6项,实用新型专利10项,软件著作权6项。


徐甲强,博士,上海大学教授,博士生导师,理学院副院长。他于2003年获得河南省杰出青年科学基金资助,入选由斯坦福大学和爱思维尔集团发布的1960-2019年终身科学影响力排行榜,2019年分析化学前2%顶尖科学家。1985年毕业于郑州大学化学系,获理学学士学位;1988年毕业于中国科技大学,获无机化学理学硕士学位;2005年毕业于上海大学,获材料学工学博士学位。他长期从事纳米结构材料的设计、制备及其在能源存储转换材料与器件、化学与生物传感器等领域的研究工作。研究项目“金属氧化物气敏材料的微结构设计、可控制备及其增敏机理研究”获2015年上海市自然科学二等奖;“碳纤维自行车整体车架研制开发”、“催化剂在半导体气敏材料中的应用”和“氧化锡气敏粉体的制备及其应用研究”等5项成果分别获河南省科技进步二等奖和三等奖。他拥有发明专利25项,发表SCI论文300篇,先后入选ESI高被引论文15篇,总被引次数10200,H指数57。现主持1项国家重点研发计划项目课题“硅基晶圆级气敏薄膜制备与热学特性测试”(项目编号2020YFB2008602)和1项国家自然科学基金面上项目“PdM双金属纳米晶的可控合成及其对金属氧化物气敏材料的多重增敏机理研究(项目编号:61671284)”;副主持1项国家重大科研仪器研制项目“基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置(项目编号:61527818)”和1项国家自然科学基金-河南省联合基金重点项目“煤矿瓦斯检测用新型氧化物半导体气敏材料构筑及性能调控”;参与2017年国家重点研发计划新能源汽车燃料电池和超级电容器项目2项;与上海卡耐能源有限公司、上海奥威科技发展有限公司和上海摇撸仪器有限公司分别在锂离子电池、超级电容器和呼吸气检测等领域开展了紧密合作,以推进科技成果的产业化。


刘欢,教授、博士生导师,华中科技大学光学与电子信息学院院长助理,集成电路学院副院长,国家优秀青年基金获得者,教育部新世纪优秀人才。面向新一代物联网与人工智能领域对高灵敏、低功耗、高可靠性传感器的紧迫需求,她带领团队主要从事半导体气体传感器与集成技术研究,先后主持国家重点研发计划“大气污染成因与控制技术研究”重点专项青年项目、国家重点研发计划“硅基MEMS气体传感器关键技术”项目课题等科研项目。发表Advanced Materials、Nano Letters和Sensors and Actuators B: Chemical等SCI论文80余篇,SCI引用超过3000次,授权中国发明专利30项。她还是中国电子学会气湿敏传感技术专委会副主任委员,中国科学院青年创新促进会特邀会员,获中国电子学会科技进步一等奖(2014年)、湖北省技术发明一等奖(2010年)和湖北省自然科学一等奖(2019年)。


许磊,博士,中国科学技术大学微电子学院特任研究员。2012年6月毕业于中国科学院上海微系统与信息技术研究所微电子学与固体电子学专业,获博士学位。2014年7月~2015年6月赴美国加州理工学院MEMS实验室进行访问研究。他主要研究方向是微纳技术和传感技术的应用研究,例如基于MEMS技术的气体传感器、流量传感器,以及高通量脑电/肌电检测电极等。2015年11月创立微纳感知(合肥)技术有限公司,致力于MEMS气体传感器的应用研究及产业化。


冯飞,博士,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员,博士生导师。2004年于中国科学院上海微系统与信息技术研究所获微电子学与固体电子学博士学位,同年留所工作至今;2012年5月至2013年5月美国加州大学伯克利分校微传感器与执行器中心(BSAC)访问学者。主要从事微纳电子机械系统(MEMS/NEMS)和微纳传感器的研究工作,作为项目负责人已完成或正承担了国家自然科学基金、863计划、国家重点研发计划、上海市科委重点项目、中科院等相关课题多项,并取得了多项创新性成果:发明了可控XeF2腐蚀技术,并成功用于光读出热成像焦平面阵列器件的单面制作,获得了2020年度上海市技术发明一等奖(高效单面加工MEMS规模制造关键技术,排名7/15);攻克了微色谱芯片跨微纳集成设计、制造关键技术,研制成功了我国首套深海MEMS气相色谱仪并在南海某海域搭载“深海勇士”号载人深潜器成功完成深海海试。相关核心技术申请专利47件,已授权24件;发表论文60余篇,相关研究成果发表于本领域著名国际期刊Sensors and Actuators B: Chemical、Talanta、Journal of Chromatography A、Journal of Micromechanics and Microengineering以及MEMS领域论文高选择性系列著名国际会议IEEE MEMS、IEEE Transducers。


明安杰,博士,教授级高工,有研科技集团智能传感功能材料国家重点实验室传感所所长,第二十四届北京市优秀青年工程师,武汉“3551光谷人才”,青岛市食品快检专家工作站首席专家,中国仪器仪表学会微纳器件与系统分会理事、分析仪器分会理事。目前主要从事红外探测、气敏传感、残留检测拉曼芯片研究孵化。他于2017年赴美国波士顿大学光电子中心公派访学一年;获中科院上海微系统与信息技术研究所微电子与固体电子学博士学位,中科院长春光机所光学硕士学位,之后加入中科院微电子所从事CMOS工艺兼容红外FPA研发。他曾主持北京市金桥工程种子资金“痕量检测拉曼芯片”、无锡市物联网专项“NDIR二氧化碳气敏传感器”等;目前主持国家自然科学基金面上项目“基于二维材料阻变效应的新型热释电红外探测器”、国家重点研发计划子课题“氮氧气体传感器”、山东省重点研发计划“工业安全微型气体传感器”。他曾担任国家自然科学基金函评专家、工信部工业领域评标评审专家等。迄今发表学术论文40余篇,申请发明专利40余项,授权20余项,出版译著一部,并在IEEE NEMS、SPIE AOPC等国际光学会议上口头报告十余次。


刘瑞,苏州甫一电子科技有限公司董事长兼总经理。2009年毕业于上海交通大学微纳科学技术研究院,博士期间主要从事微纳米器件制备与微细加工技术的研究工作,作为主要参与人员参加了国家863项目“面向非硅微结构的基础力学特性的微拉伸测量方法及设备”、上海市科学技术委员会科技攻关资助项目“基于MEMS加工技术的异型纤维喷丝头研制”、02专项“基于TSV三维封装的微互连技术的研究”等项目。2010年进入中国科学院苏州纳米所从事微纳米器件及相关材料的研究,获得《薄膜材料微拉伸测试系统》、《一种微型电容式力学传感器及其制备方法》、《碳纳米管气敏传感器及其制备方法》等十余项发明专利,并在Nanotechnology、Journal of Micromechanics and Microengineering、Nature Communication等国外高水平期刊发表论文二十余篇。2013~2014年,在苏州能斯达电子担任技术总监期间,组建核心团队开发了MEMS气体传感器、MEMS湿度传感器等MEMS芯片。2015年创办苏州甫一电子科技有限公司,专注于MEMS微纳传感器芯片的设计、研发、制造及封装,尤其在微纳薄膜复合器件、高深宽比微结构、微纳通孔方面具有国内一流的技术能力。创业期间获得苏州工业园区领军人才、金鸡湖双百人才等称号。目前主持开发的基于多层薄膜结构的半导体甲烷和VOC气体传感器,已开始大批量在相关领域进行应用。


金涵,博士,上海交通大学电子信息与电气工程学院长聘教轨副教授、纳米技术与应用国家工程研究中心双聘研究员,此外还担任医工融合会委员、纳米肿瘤学会青年委员、香港Qi Diagnostics Ltd首席技术顾问。2009年于中国科学技术大学获国家留学基金委高水平大学公派留学生奖学金赴日本九州大学产学连携中心攻读博士学位,2012年于物质理工学专业商用气体传感器研究方向获工学博士学位。之后于以色列理工学院开展博士后研究,主攻人体健康监测传感器研发方向。现主要从事高性能气敏传感器的构建及其在人体呼吸诊断中的应用研究。包括人体呼吸成分的变化与特定肿瘤疾病的关联探索、人体呼吸成分中肿瘤标记物的高效识别以及面向肿瘤疾病早期诊断的可穿戴传感器研发。因研发出第三代全固态气敏传感器结构于日本九州化学会第47次会议获Chemistry Award of Foreign Researcher(排名第一),健康预警研究成果于2021年获上海职工技能竞赛三等奖(排名第二),传感器研究成果获IAAM Young Scientist Award。他还入选3315创新团队人才计划。目前已先后主持相关研究方向国家自然科学基金青年、面上、香港科技园以及省部级项目资助。回国工作期间已以第一作者或第一通讯作者身份在ACS Nano、Nano Lett.、Nano-Micro Lett、Chem Eng. J.等期刊发表学术论文四十余篇,相关研究成果被英国科技杂志Research Features专题采访,授权专利7项(含2项PCT国家专利),其中1项已成果转化。


七、培训费用和报名方式咨询

请发送电子邮件至BISainan@MEMSConsulting.com,邮件题目格式为:报名+气体传感与检测技术培训+单位简称+人数。


麦姆斯咨询
联系人:毕女士
电话:18921125675
E-mail:BISainan@MEMSConsulting.com


近期课程

第59期“见微知著”培训课程:硅光子传感技术及应用

硅光子传感应用呈现出“百花齐放”的景象,包括激光雷达(LiDAR)、惯性传感(如加速度计、陀螺仪)、气体传感、生物传感(如血糖监测)、免疫分析、光学相干断层扫描(OCT)、光谱分析等。


第60期“见微知著”培训课程:新兴MEMS传感器和执行器技术

本次课程内容涵盖惯性传感器及其接口电路、谐振式MEMS器件、压电式MEMS器件(PMUT、麦克风、扬声器)、生物MEMS传感器(神经探针、生物反应器状态监测传感器),以及MEMS器件设计的进化算法。


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课程已经结束,感谢您的关注!