第5期“见微知著”培训课程：MEMS高级进阶

为提升MEMS产业界相关人员的专业技术能力，并增强中国传感器创新能力，本次课程主要讲授MEMS成熟器件和前沿器件的设计、制造、封测和应用知识，同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解。

主办单位：中科院上海微系统所、麦姆斯咨询

协办单位：上海市物联网行业协会、新微创源孵化器、华强电子网、华强旗舰

一、课程设置

麦姆斯咨询于2016年10月在无锡举行了第一次MEMS高级培训课程，报名非常火爆。为继续为MEMS产业界相关人员提升专业技术能力，增强传感器创新能力，我们在2016年培训的基础上对课程和师资进行了更优化的选择和设置，更加注重理论与实践的结合，以期为学员带来最大化的收获。

2017年MEMS高级培训课程主要讲授MEMS成熟器件（如加速度计、MEMS麦克风、压力传感器、陀螺仪、红外传感器）和前沿器件（如微流控芯片、生物传感器、电化学传感器）的设计、制造、封测和应用知识，同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解，最后还将带领学员实地参观上海微系统所的微系统技术加工服务平台。

二、培训对象

主要面向高等院校学生和老师，MEMS设计、制造、封测及终端应用相关企业的初级和中级技术人员以及高级管理人员，也欢迎参加其它希望了解MEMS技术和产业的非MEMS背景人员。

三、培训时间

2017年10月20日全天、10月21日全天和10月22日上午，共计2.5天。

本课程赠送上海微系统所的微系统技术加工服务平台实地参观：时间：10月22日下午；地点：上海市宜山路800号。

日程安排：

10月19日下午15:00-17:00或10月20日上午8:00-8:25报到。

10月20日至10月22日期间的上课时间：

上午：8:30-12:00
下午：13:00-16:30

四、培训地点

中国科学院上海微系统与信息技术研究所：上海市长宁路865号

五、课程内容

课程一：传统MEMS器件及应用

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 李昕欣 研究室主任/研究员

本课程介绍MEMS压力传感器、MEMS麦克风和红外热电堆传感器的产业链各环节关键技术和典型应用，重点讲解李昕欣小组国际独创“微创手术（MIS）”MEMS工艺。该项工艺可在半导体代工厂量产，与Bosch的APS工艺和意法半导体的VENSENS工艺同为相互竞争的第三代单芯片MEMS通用工艺。

课程目录：
1. MEMS压力传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用
2. MEMS麦克风的设计、制造、封装和测试，以及典型应用
3. 红外热电堆传感器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 杨恒 研究员

本课程介绍MEMS谐振器、陀螺仪、加速度计的产业链各环节关键技术和典型应用，重点讲解上海微系统所最新的MEMS技术成果。

课程目录：
1. MEMS谐振器的设计、制造、封装和测试，以及典型应用
2. 陀螺仪的设计、制造、封装和测试，以及典型应用
3. 加速度计的设计、制造、封装和测试，以及典型应用

课程二：前沿MEMS器件及其应用

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 金庆辉 研究员

本课程主要针对一些前沿的生物和化学MEMS传感器技术，以及典型应用进行讲解，如生物传感器、电化学传感器、环境监测和食品安全监测物联网等。

课程目录：
1. 生物传感器技术及典型应用
2. 电化学传感器传感器技术及典型应用
3. 环境监测和食品安全检测

讲师：北京大学 王玮 教授/博士生导师

本课程介绍不同基底的微流控芯片技术，以及典型应用，重点讲解适合于低成本、大批量生产的微流控制造技术。

课程目录：
1. 微流控技术概述
2. 微流控芯片常用材料及加工方法
3. 微流控与POCT

课程三：MEMS制造工艺

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 冯飞 研究员

本课程概述CMOS制造工艺，重点讲解MEMS制造工艺，其中MEMS制造工艺包括体微加工技术、表面微加工技术和CMOS MEMS技术，以及全球主要MEMS代工厂和中国科研机构MEMS工艺线。

课程目录：
1. CMOS制造工艺
2. MEMS制造工艺
3. 全球主要MEMS代工厂
4. 中国科研机构MEMS工艺线
5. 上海微系统所工艺能力介绍

讲师：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 戈肖鸿 高级工程师

本课程带领学员实地参观上海微系统所的微系统技术加工服务平台。该平台由微系统加工平台和微系统封装平台两部分组成，分别位于上海微系统所漕河泾园区内主楼的一层和二层净化间内。整个平台拥有114台套先进的大中型设备，总价值达1.1亿元，可以完成从微芯片制造、芯片封装、器件测试、微系统集成等成套工艺，为微系统研究提供有力的技术保障。

六、师资介绍

李昕欣，男，1965年出生，研究员，博士生导师。现任传感技术国家重点实验室主任，是国家杰出青年基金获得者。1987年于清华大学无线电电子学系获学士学位，1995年6月和1998年1月于复旦大学电子工程系分获硕士、博士学位。1987年至1992年在机械部沈阳仪器仪表工艺研究所任工程师。于1998年1月到2001年1月间先后在香港科技大学、新加坡南洋理工大学和日本东北大学“文部省传感器和微机械风险事业实验室”工作，分别任博士后、研究员和讲师（中核的研究机构研究员）。从2001年1月开始至今作为中科院“百人计划”入选者在中科院上海微系统与信息技术研究所任研究员和博士生导师。2005年获得上海市科技进步将一等奖（技术发明类），个人排名第一；2006年度获得上海市技术发明奖二等奖（个人排名第三）；2012年获国家技术发明二等奖一项（第一单位第二人）。2004年中科院‘百人计划’终期评审获得优秀,同年享受国务院特殊津贴；2006年入选“新世纪百千万人才工程国家级人选”；同年获得第三届“上海市青年科技英才”称号和奖励；2007年获得国家杰出青年基金资助；2011年入选上海领军人才。李昕欣长期研究微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）和微纳传感器技术，是该领域国际知名的学者和国内的学术带头人之一。已授权和受理专利近100项，有10多项已经授权转让给企业转化生产力和经济效益，并为国家重要工程提供MEMS传感器产品技术,做出了突出贡献。有约160篇SCI论文发表在国际重要SCI期刊如IEEE EDL, IEEE J-MEMS, IEEE Trans. Ind. Electron., IEEE T-ED, IEEE T-MTT, IEEE/ASME Trans Mech, Small, Adv Func Mat, Anal Chem, Lab Chip, J Mat Chem, Chem Comm, ACS AMI, JMM, Sens Actuators B等。发表国际会议论文100多篇，其中在论文录取较难的三个领域顶级国际会议IEEE IEDM、Transducers和IEEE MEMS上就发表了约100篇。在多个SCI国际期刊和《中国科学等》发表了特约综述论文，在多个国际会做大会报告和邀请报告。李昕欣教授曾成为IEEE MEMS会议来自我国的第一个TPC委员，现任Transducers会议唯一来自我国的International Steering Committee委员，担任国际领域核心SCI期刊J Micrmech Microeng的编委。李昕欣兼任复旦大学、上海交通大学、大连理工大学和上海科技大学等校的兼职教授。李昕欣曾任上海市人大代表，现任上海市政协常委、九三学社中央委员和九三学社上海市委副主委。

杨恒，男，1972年生，博士，研究员，博士生导师。杨恒分别于1995年和2001年在复旦大学电子工程系取得学士和博士学位。从2001年4月至2003年8月，他在荷兰Delft理工大学进行博士后研究，主要工作包括表面微机械惯性器件的设计、加工与测试。2003年8月，他在中科院上海微系统与信息技术研究所担任副研究员，2006年1月被聘任为研究员，2008年获得博士生导师任职资格。杨恒从事微/纳米机电系统制造与封装方面的研究工作，期间作为负责人承担并完成了国家973、863、自然科学基金项目、上海市科委重点攻关项目在内的多个科研项目。杨恒在SCI检索刊物上发表论文20余篇，申请国家发明专利18项。

金庆辉，博士，研究员，博士生导师，宁波大学信息科学与工程学院教授，主要从事生物传感器、电化学传感器、环境监测和食品安全监测物联网等方面的研究。作为项目负责人完成了多项863、973、国家自然科学基金项目，以及中科院仪器研制项目、上海市重大项目等，2005年度获上海市科技进步三等奖，2008年获江苏省南通市科技进步一等奖，2010年获江苏省科技进步二等奖。目前承担国家重点研发计划项目及国家自然科学基金等项目。申请或授权30余项发明专利，发表文章100余篇。

王玮，博士，北京大学教授，博士生导师。北京大学微纳电子学研究院副院长，集成微纳系统研究所（MEMS研究所）所长，微米纳米加工技术国家级重点实验室副主任。2005年清华大学获得博士学位，之后加入北京大学微纳电子学研究院，并于2007-2008年、2014-2015年在美国加利福尼亚大学戴维斯分校（潘挺睿教授）、加利福尼亚理工学院（戴聿昌教授）访问。主要开展微纳流控、聚合物微纳加工以及临床用微系统相关研究。申请或授权20余项发明专利，发表文章100余篇。

冯飞，男，生于1973年3月，湖北省当阳人。1994年7月于湖北师范学院物理系获学士学位，2001年3月于长春光学精密机械学院获硕士学位，2004年6月于中科院上海微系统与信息技术研究所获博士学位，2012年5月-2013年5月美国加州大学伯克利分校微传感器与执行器中心（BSAC）访问学者，现任中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室研究员。主要研究领域为微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）和微纳传感器，研究兴趣包括：微机械非致冷红外成像研究；基于MEMS的微型气相色谱技术研究；纳米材料的热电效应研究等方面。目前已完成或正承担国家863项目、973项目、国家自然科学基金项目、中科院、上海市科委项目等相关研究课题多项。

戈肖鸿，男，1970年生，昆明理工大学硕士研究生毕业，正研级高工。1992年8月开始任职于中国科学院上海微系统所（原上海冶金研究所）传感技术国家重点实验室，从事MEMS气相刻蚀工艺和金属薄膜工艺技术工作，先后任助理工程师、工程师、高级工程师、正研级高工，2003年至今主管实验室微系统加工平台工作。工作期间承担和参与863、国家重大专项等多个科研项目，获上海市科技进步二等奖一项“氧传感器微型化技术研究及其在医学和环保中的应用”（1999年度），获得上海市技术发明二等奖一项“MEMS关键设计与制造技术及应用”（2006年度）。2010年度入选“中国科学院杰出技术人才”中现有关键技术人才。