2021年06月25日
第34期“见微知著”培训课程
MEMS制造工艺

MEMS产品及制造工艺的多样性,要求从业人员拥有多年基于实践的专业知识和诀窍积累。为满足MEMS和传感器从业人员对制造工艺知识的渴求,特开设本期课程,希望为正在从事和希望从事MEMS产业的人员提供深入学习制造工艺的机会。

关键词:MEMS制造, 晶圆级封装, 晶圆级光学制造, MEMS可靠性

无锡新吴区

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2021年03月26日
第31期“见微知著”培训课程
压电MEMS与传感器

压电(Piezoelectricity),已经成为近几年并将继续成为未来多年MEMS产业发展的关键词!麦姆斯咨询从压电材料特性及性能表征、当前热门压电器件、未来的高潜力压电器件等多个角度,为广大学员带来丰富的培训课程。

关键词:压电MEMS, 压电传感器, PMUT, SAW, BAW

无锡新吴区

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2020年08月14日
第24期“见微知著”培训课程
MEMS技术进阶

MEMS技术日臻成熟,新型MEMS产品层出不穷。本课程从惯性MEMS、光学MEMS(气体传感器)、红外探测器(微测辐射热计)、生物MEMS(微流控)等技术,以及MEMS制造工艺及封装、MEMS可靠性分析进行深入讲解。

关键词:MEMS, 传感器, MEMS可靠性分析, 微测辐射热计, 气体传感器, 加速度计, 陀螺仪

无锡新吴区

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2020年07月24日
第23期“见微知著”培训课程
压电MEMS与传感器

5G通信、个人语音助手、可穿戴设备、指纹识别和医疗设备都是压电器件的潜在热门应用。本课程深入剖析射频滤波器、基于PMUT的指纹传感器和ToF传感器、SAW微流控、压电MEMS微镜和变形镜、微振动台等典型传感器和执行器。

关键词:压电MEMS, 压电传感器, 压电器件, 压电执行器

无锡新吴区

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2020年07月10日
第22期“见微知著”培训课程
MEMS制造工艺

MEMS的多样性决定了MEMS制造工艺的多样性。本课程深入剖析MEMS制造关键设备和材料、硅基/非硅基MEMS制造工艺、纳米压印、晶圆级封装,以及热电堆红外传感器、微流控、仿生微纳结构、微针、电极和人工视网膜等制造工艺。

关键词:MEMS制造, 硅基, 非硅基, 热电堆红外传感器, 纳米压印, 微针, 晶圆级封装

无锡新吴区

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2019年12月06日
第21期“见微知著”培训课程
MEMS制造工艺

新材料和新工艺的开发,让传统的MEMS器件获得了更小尺寸和更优性能的机会。本课程深入剖析MEMS制造关键设备和材料、硅基MEMS制造工艺、非硅基MEMS制造工艺、晶圆级封装、特殊薄膜制造工艺(压电薄膜和磁性薄膜)等。

关键词:MEMS制造, MEMS工艺, 压电薄膜制造, 磁性薄膜制造

苏州工业园区纳米城

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2019年10月18日
第18期“见微知著”培训课程
压电MEMS与传感器

压电和MEMS技术的融合发展正在为全球MEMS产业带来一场革命。本课程深入讲解射频滤波器、SAW传感器、MEMS谐振器与振荡器、压电MEMS超声波换能器和指纹识别传感器、压电MEMS麦克风等技术,以及压电薄膜制备工艺。

关键词:压电MEMS, 压电传感器, AlN, PZT

中国物联网国际创新园

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2019年05月31日
第15期“见微知著”培训课程
MEMS高级进阶

《MEMS高级培训课程》系列课程已连续举办三年。该系列课程以经典MEMS器件为出发点,带领学员们研习MEMS器件的设计、制造、封测和应用等重要环节,同时辅以MEMS和传感器产业信息,帮助MEMS从业人员理清产业发展脉络。

关键词:组合式惯性传感器, MEMS谐振器和振荡器, 智能传感器

苏州工业园区纳米城

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2019年04月26日
第13期“见微知著”培训课程
自动驾驶传感技术

自动驾驶技术正在将汽车产业推进一个全新的时代。本课程围绕毫米波雷达、激光雷达和车载摄像头三大核心环境感知传感器展开,并深入讲解其核心元器件(VCSEL、APD、SPAD、MEMS微镜、车载镜头)等技术及车规级要求。

关键词:自动驾驶, 毫米波雷达, 激光雷达, 摄像头

中国物联网国际创新园

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