压电(Piezoelectricity),已经成为近几年并将继续成为未来多年MEMS产业发展的关键词!麦姆斯咨询从压电材料特性及性能表征、当前热门压电器件、未来的高潜力压电器件等多个角度,为广大学员带来丰富的培训课程。
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MEMS技术日臻成熟,新型MEMS产品层出不穷。本课程从惯性MEMS、光学MEMS(气体传感器)、红外探测器(微测辐射热计)、生物MEMS(微流控)等技术,以及MEMS制造工艺及封装、MEMS可靠性分析进行深入讲解。
5G通信、个人语音助手、可穿戴设备、指纹识别和医疗设备都是压电器件的潜在热门应用。本课程深入剖析射频滤波器、基于PMUT的指纹传感器和ToF传感器、SAW微流控、压电MEMS微镜和变形镜、微振动台等典型传感器和执行器。
MEMS的多样性决定了MEMS制造工艺的多样性。本课程深入剖析MEMS制造关键设备和材料、硅基/非硅基MEMS制造工艺、纳米压印、晶圆级封装,以及热电堆红外传感器、微流控、仿生微纳结构、微针、电极和人工视网膜等制造工艺。
新材料和新工艺的开发,让传统的MEMS器件获得了更小尺寸和更优性能的机会。本课程深入剖析MEMS制造关键设备和材料、硅基MEMS制造工艺、非硅基MEMS制造工艺、晶圆级封装、特殊薄膜制造工艺(压电薄膜和磁性薄膜)等。
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压电和MEMS技术的融合发展正在为全球MEMS产业带来一场革命。本课程深入讲解射频滤波器、SAW传感器、MEMS谐振器与振荡器、压电MEMS超声波换能器和指纹识别传感器、压电MEMS麦克风等技术,以及压电薄膜制备工艺。
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《MEMS高级培训课程》系列课程已连续举办三年。该系列课程以经典MEMS器件为出发点,带领学员们研习MEMS器件的设计、制造、封测和应用等重要环节,同时辅以MEMS和传感器产业信息,帮助MEMS从业人员理清产业发展脉络。
全球半导体行业进入周期性衰退阶段,MEMS行业却逆势增长。本课程剖析MEMS制造工艺、MEMS器件制造工艺流程(MEMS麦克风、压力传感器、红外探测器、MEMS微镜等)、MEMS封装、MEMS测试、关键工艺设备和材料等。
该系列课程以MEMS热门器件作为切入口,让学员在深入了解MEMS产业的基础上讲授器件(加速度计、陀螺仪、MEMS麦克风、压力传感器等)设计、制造、封测和应用,同时对MEMS产业重要环节(制造和封测)进行全面讲授。
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