2018年07月13日
第8期“见微知著”培训课程
MEMS制造工艺

相比普通IC器件，MEMS更注重结构特性和材料的选择，因此衍生出许多特有的制造工艺。本课程深入讲解硅基MEMS制造工艺、非硅基MEMS制造工艺、特殊薄膜材料制造工艺、掩模版制造工艺和“VCSEL”的单步重要工艺。

关键词：MEMS制造, 压电薄膜, 微流控, VCSEL外延

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2018年03月30日
第6期“见微知著”培训课程
MEMS制造工艺

MEMS制造工艺在微电子技术（半导体制造工艺）基础上发展起来，并衍生出许多MEMS特有的制造工艺。本课程深入讲解硅基MEMS（基础和特殊）制造工艺、非硅基MEMS制造工艺、特殊薄膜材料制造工艺和VCSEL的单步重要工艺。

关键词：MEMS制造, MEMS工艺, VCSEL

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2017年10月20日
第5期“见微知著”培训课程
MEMS高级进阶

为提升MEMS产业界相关人员的专业技术能力，并增强中国传感器创新能力，本次课程主要讲授MEMS成熟器件和前沿器件的设计、制造、封测和应用知识，同时对MEMS制造工艺的特殊性、重点难点和解决方案进行深入的讲解。

关键词：生物传感器, 惯性传感器, 电化学传感器, MEMS制造

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2016年10月28日
第2期“见微知著”培训课程
MEMS高级进阶

该课程主要讲授MEMS原理、MEMS关键技术（设计、仿真、制造、封装、测试、可靠性、失效分析等）、典型MEMS器件及应用（射频MEMS、红外传感器、惯性传感器、MEMS麦克风、压力传感器、气体传感器等）、信号调理技术等。

关键词：射频MEMS, 信号调理, 失效分析, MEMS制造

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